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1. (WO2012116281) SYSTEM FOR AND METHOD OF FAST PULSE GAS DELIVERY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/116281    International Application No.:    PCT/US2012/026519
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 24.02.2012
IPC:
C23C 16/52 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive Andover, Massachusetts 01801 (US) (For All Designated States Except US).
DING, Junhua [US/US]; (US) (For US Only).
L'BASSI, Michael L. [US/US]; (US) (For US Only).
LEE, Tseng-Chung [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DING, Junhua; (US).
L'BASSI, Michael L.; (US).
LEE, Tseng-Chung; (US)
Agent: KUSMER, Toby H.; McDermott Will & Emery LLP 28 State Street Boston, Massachusetts 02109 (US)
Priority Data:
13/035,534 25.02.2011 US
61/525,452 19.08.2011 US
13/344,387 05.01.2012 US
Title (EN) SYSTEM FOR AND METHOD OF FAST PULSE GAS DELIVERY
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR OBTENIR DES IMPULSIONS GAZEUSES RAPIDES
Abstract: front page image
(EN)A system for delivering pulses of a desired mass of gas to a tool, comprising: a mass flow controller including flow sensor, a control valve and a dedicated controller configured and arranged to receive a recipe of a sequence of steps for opening and closing the control valve so as to deliver as sequence of gas pulses as a function of the recipe. The mass flow controller is configured and arranged so as to operate in either one of at least two modes: as a traditional mass flow controller (MFC) mode or in a pulse gas delivery (PGD) mode. Further, the dedicated controller is configured and arranged to delivery pulses of gas in accordance with anyone of three different types of pulse gas delivery processes: a time based pulse delivery process, a mole based pulse delivery process and a profile based pulse delivery process.
(FR)L'invention concerne un système permettant de fournir des impulsions d'une masse de gaz désirée à un outil, comprenant : un dispositif de commande de débit massique comprenant un capteur de débit, une vanne de commande et un dispositif de commande dédié conçu et agencé pour recevoir un protocole d'une séquence d'étapes pour l'ouverture et la fermeture de la vanne de commande de façon à produire une séquence d'impulsions gazeuses en fonction du protocole. Le dispositif de commande de débit massique est conçu et agencé pour fonctionner dans l'un ou l'autre d'au moins deux modes : en mode de dispositif de commande de débit massique classique (MFC) ou en mode de fourniture d'impulsions gazeuses (PGD). En outre, le dispositif de commande dédié est conçu et agencé pour produire des impulsions de gaz selon l'un quelconque de trois différents types de processus de fourniture d'impulsions gazeuses : un processus de fourniture d'impulsions basé sur le temps, un processus de fourniture d'impulsions basé sur le nombre de moles et un processus de fourniture d'impulsions basé sur un profil.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)