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1. (WO2012115643) METHODS AND APPARATUS FOR THE MEASUREMENT OF FILM THICKNESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/115643    International Application No.:    PCT/US2011/025979
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 24.02.2011
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01B 21/04 (2006.01), G01B 11/245 (2006.01)
Applicants: CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831 (US) (For All Designated States Except US).
MOLL, Johannes [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MOLL, Johannes; (US)
Agent: WATSON, Bruce P.; Corning Incorporated SP-Ti-3-1 Intellectual Property Department Corning, New York 14831 (US)
Priority Data:
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR THE MEASUREMENT OF FILM THICKNESS
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR LA MESURE DE L'ÉPAISSEUR D'UN FILM
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatus for measuring thickness of a thin film include: obtaining a high-speed thickness measurement of a thin film using a laser projection system and detector array, obtaining thickness measurements of the thin film at one or more locations using a single-point measurement apparatus and determining the accuracy of the high-speed measurement values by comparing them to one or more of the absolute thickness values of the film as measured by the single-point measurement apparatus.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil permettant de mesurer l'épaisseur d'un film mince, consistant à obtenir une mesure de l'épaisseur à grande vitesse d'un film mince à l'aide d'un système de projection laser et d'un réseau de détecteurs, à obtenir des mesures de l'épaisseur du film mince sur un ou plusieurs emplacements à l'aide d'un appareil de mesure de points uniques et à déterminer la précision des valeurs de mesure à grande vitesse en les comparant à une ou plusieurs des valeurs absolues d'épaisseur du film mesurées par l'appareil de mesure de points uniques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)