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1. (WO2012115203) ARC EVAPORATION SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/115203    International Application No.:    PCT/JP2012/054451
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 23.02.2012
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01), H05H 1/48 (2006.01)
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO(KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 10-26, Wakinohama-cho 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP) (For All Designated States Except US).
TANIFUJI Shinichi; (For US Only).
YAMAMOTO Kenji; (For US Only)
Inventors: TANIFUJI Shinichi; .
YAMAMOTO Kenji;
Agent: OGURI Shohei; Eikoh Patent Firm, Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2011-037094 23.02.2011 JP
2011-037095 23.02.2011 JP
2011-097162 25.04.2011 JP
2011-118267 26.05.2011 JP
2011-180544 22.08.2011 JP
Title (EN) ARC EVAPORATION SOURCE
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION PAR ARC
(JA) アーク式蒸発源
Abstract: front page image
(EN)An arc evaporation source (101) according to one embodiment of the present invention comprises: a ring-shaped circumferential magnet (103) which is so arranged as to surround the outer periphery of a target (102) along a direction in which the direction of magnetization becomes parallel with the front surface of the target; and a rear surface magnet (104) which is arranged on the rear surface side of the target (102) along a direction in which the direction of magnetization becomes perpendicular to the front surface of the target. The magnetic pole of the circumferential magnet (103) on the inner side in the radial direction and the magnetic pole of the rear surface magnet (104) on the target (102) side have the same polarity as each other.
(FR)Une source d'évaporation par arc (101) selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : un aimant circonférentiel (103) en forme d'anneau qui est disposé de façon à entourer la périphérie externe d'une cible (102) le long d'une direction dans laquelle la direction de magnétisation devient parallèle à la surface avant de la cible ; et un aimant (104) de surface arrière qui est disposé sur le côté de surface arrière de la cible (102) le long d'une direction dans laquelle la direction de magnétisation devient perpendiculaire à la surface avant de la cible. Le pôle magnétique de l'aimant circonférentiel (103) sur le côté interne dans la direction radiale et le pôle magnétique de l'aimant (104) de surface arrière sur le côté cible (102) ont la même polarité l'un que l'autre.
(JA) 本発明の一実施形態のアーク式蒸発源101は、磁化方向がターゲット102の前面と平行となる方向に沿うようにターゲットの外周を取り囲むように配置されたリング状の外周磁石103と、磁化方向がターゲット102の前面と直交する方向に沿うようにターゲットの背面側に配置された背面磁石104と、を備える。外周磁石103の径方向内側の磁極と背面磁石104のターゲット102側の磁極とは互いに同じ極性である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)