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Pub. No.:    WO/2012/114632    International Application No.:    PCT/JP2011/079541
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 20.12.2011
G01J 3/18 (2006.01), G01J 3/36 (2006.01)
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558 (JP) (For All Designated States Except US).
YOKINO Takafumi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHIBAYAMA Katsumi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOKINO Takafumi; (JP).
Agent: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2011-037247 23.02.2011 JP
(JA) 分光モジュール
Abstract: front page image
(EN)A spectrometer module (1) is provided with a package body (2), a package lid (7) and a support substrate (11), a transmission grating element (13), a mirror element (20), and a photodetection element (15). A cavity (3) is formed in the body (2). The lid (7) and the substrate (11) are attached to the body (2) in such a manner as to face the bottom surface (3b) of the cavity (3), and allow light (L) to penetrate inside the cavity (3) from outside the cavity (3). The grating element (13) is supported by the substrate (11), and diffracts light (L) emitted from outside the cavity (3), and allows the light (L) to penetrate to the bottom surface (3b) side of the cavity (3). The mirror element (20) is positioned on the bottom surface (3b) of the cavity (3), and reflects the light (L) diffracted by the grating element (13). The photodetection element (15) is supported by the substrate (11), and detects the light (L) reflected by the mirror element (20).
(FR)La présente invention concerne un module de spectromètre (1) comportant un corps de boîtier (2), un couvercle de boîtier (7), un substrat de support (11), un élément de réseau de transmission (13), un élément de miroir (20) et un élément de photodétection (15). Une cavité (3) est formée dans le corps (2). Le couvercle (7) et le substrat (11) sont fixés au corps (2) de façon à se trouver en face de la surface inférieure (3b) de la cavité (3) et permettent à une lumière (L) provenant de l'extérieur de pénétrer à l'intérieur de la cavité (3). L'élément de réseau (13) est supporté par le substrat (11), diffracte la lumière (L) émise à l'extérieur de la cavité (3) et permet à la lumière (L) de pénétrer par la surface inférieure (3b) de la cavité (3). L'élément de miroir (20) est positionné sur la surface inférieure (3b) de la cavité (3) et réfléchit la lumière (L) diffractée par l'élément de réseau (13). L'élément de photodétection (15) est supporté par le substrat (11) et détecte la lumière (L) réfléchie par l'élément de miroir (20).
(JA) 分光モジュール1は、パッケージ本体2と、パッケージ蓋7及び支持基板11と、透過型グレーティング素子13と、ミラー素子20と、光検出素子15と、を備えている。本体2には、空洞3が形成されている。蓋7及び基板11は、空洞3の底面3bと対向するように本体2に取り付けられており、空洞3外から空洞3内に光Lを通過させる。グレーティング素子13は、基板11によって支持されており、空洞3外から入射した光Lを分光すると共に空洞3の底面3b側に透過させる。ミラー素子20は、空洞3の底面3bに配置されており、グレーティング素子13によって分光された光Lを反射する。光検出素子15は、基板11によって支持されており、ミラー素子20によって反射された光Lを検出する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)