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Pub. No.:    WO/2012/114539    International Application No.:    PCT/JP2011/056587
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 18.03.2011
H04R 19/04 (2006.01)
Applicants: OMRON Corporation [JP/JP]; 801, Minamifudodo-cho, Horikawahigashiiru, Shiokoji-dori, Shimogyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6008530 (JP) (For All Designated States Except US).
KASAI, Takashi; (For US Only)
Inventors: KASAI, Takashi;
Agent: TANAKA, Mitsuo; AOYAMA & PARTNERS, IMP Building, 3-7, Shiromi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400001 (JP)
Priority Data:
2011-036904 23.02.2011 JP
(JA) 音響センサ及びマイクロフォン
Abstract: front page image
(EN)An acoustic sensor capable of improving the sensor S/N ratio without impeding reduction in sensor size is provided. A diaphragm (43) which serves as a movable electrode plate is formed on the upper surface of a silicon substrate (42). The diaphragm (43) is rectangular and the four corners of the diaphragm (43) and the central section on the long side thereof are supported by anchors (46). The displacement of the diaphragm (43) is minimized above a line (D) connecting the anchors (46) in the central section on the long side. There are maximum displacement points (G) where displacement is the greatest for each side, on both sides of the line (D) and the line (D) extends in the direction intersecting the direction connecting the maximum displacement points (G).
(FR)L'invention porte sur un capteur acoustique, apte à améliorer le rapport signal/bruit du capteur sans empêcher une réduction de la taille du capteur. Un diaphragme (43) qui joue le rôle de plaque d'électrode mobile est formé sur la surface supérieure d'un substrat en silicium (42). Le diaphragme (43) est rectangulaire, et les quatre coins du diaphragme (43) et la section centrale sur la longueur de celui-ci sont supportés par des éléments d'ancrage (46). Le déplacement du diaphragme (43) est minimisé au-dessus d'une ligne (D) reliant les éléments d'ancrage (46) dans la section centrale sur la longueur. L'invention possède des points de déplacement maximal (G) où le déplacement est le plus grand pour chaque côté, des deux côtés de la ligne (D), et la ligne (D) s'étend dans la direction coupant la direction reliant les points de déplacement maximal (G).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)