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1. (WO2012114395) ABRASIVE RECOVERY METHOD AND ABRASIVE RECOVERY DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/114395    International Application No.:    PCT/JP2011/004593
Publication Date: 30.08.2012 International Filing Date: 16.08.2011
Chapter 2 Demand Filed:    19.12.2012    
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B01D 61/14 (2006.01), B01D 61/58 (2006.01), B01D 63/02 (2006.01), B01D 63/06 (2006.01), B01D 71/16 (2006.01), B01D 71/26 (2006.01), B01D 71/34 (2006.01), B01D 71/36 (2006.01), B01D 71/64 (2006.01), B01D 71/68 (2006.01), B24B 37/00 (2012.01), B24B 57/00 (2006.01), C02F 1/44 (2006.01)
Applicants: NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. [JP/JP]; 2-9-8, Okada, Atsugi-shi, Kanagawa 2430021 (JP) (For All Designated States Except US).
ISHII, Keiichiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HIOKI, Shoji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: ISHII, Keiichiro; (JP).
HIOKI, Shoji; (JP)
Agent: SAKURA PATENT OFFICE, p.c.; Kanda Higashiyama Bldg., 1, Kandata-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010046 (JP)
Priority Data:
2011-039948 25.02.2011 JP
Title (EN) ABRASIVE RECOVERY METHOD AND ABRASIVE RECOVERY DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE RÉCUPÉRATION D'ABRASIF ET DISPOSITIF DE RÉCUPÉRATION D'ABRASIF
(JA) 研磨剤の回収方法および研磨剤の回収装置
Abstract: front page image
(EN)Provided are an abrasive recovery method and abrasive recovery device capable of recovering a slurry comprising a highly-concentrated abrasive while avoiding increases in pressure loss and large decreases in the recovery rate due to membrane blocking. A device (1) for recovering an abrasive from a used polishing slurry which has been used in a CMP process has a separation membrane (41) with a cylindrical hole passage into which the used polishing slurry is introduced. The hole passage of the separation membrane (41) is no more than 0.8m in length in an effective filtration unit. The abrasive recovery device (1) concentrates the abrasive of the used polishing slurry to a concentration of 10 mass% or greater.
(FR)L'invention concerne un procédé de récupération d'abrasif et un dispositif de récupération d'abrasif, aptes à recycler des boues de polissage comprenant un abrasif à concentration élevée tout en évitant une aggravation de la chute de pression et une forte réduction du taux de récupération à cause du colmatage de la membrane. Un dispositif (1) de récupération d'un abrasif dans une boue de polissage usagée, qui a été utilisée dans un processus de CMP, possède une membrane de séparation (41) avec un trou de passage cylindrique dans lequel est introduite la boue de polissage usagée. Le trou de passage de la membrane de séparation (41) ne fait pas plus de 0,8 m de longueur dans une unité de filtration efficace. Le dispositif de récupération d'abrasif (1) concentre l'abrasif de la boue de polissage usagée jusqu'à une concentration de 10 % en masse ou plus.
(JA) 圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。CMP工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置1であって、使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状である分離膜41を有しており、分離膜41の孔道は、有効濾過部の長さが0.8m以下であり、研磨剤の回収装置1は、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、10質量%以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置1。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)