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Pub. No.:    WO/2012/111604    International Application No.:    PCT/JP2012/053252
Publication Date: 23.08.2012 International Filing Date: 13.02.2012
G01B 11/02 (2006.01)
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (For All Designated States Except US).
KATO, Masahiro; (For US Only)
Inventors: KATO, Masahiro;
Agent: TESHIMA Masaru; Teshima Patent Law Firm, 5F MF MinamiMorimachi Bldg., 2-3-8, Tenjinbashi, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041 (JP)
Priority Data:
2011-031563 17.02.2011 JP
(JA) 線幅測定装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a line width measurement device that can accurately and efficiently measure a measurement subject. The line width measurement device (100), which measures the line width of a pattern to be measured, is provided with: a camera (30) that images the pattern to be measured; a camera moving device (32); and a control device (40) that controls the movement of the camera moving device (32). The pattern to be measured is formed on a substrate (10) for a liquid crystal panel of an at-least-four color display. The control device (40) is connected to a recording device (50) that stores an image analysis program (52) that performs image analysis on a pattern imaged by the camera (30). Also, the control device (40) is connected to a camera magnification switching device (55) that switches between a first camera magnification (normal magnification: for example, 50x) for measuring the line width of the pattern to be measured and a second camera magnification (low magnification: for example, 20x) for recognizing a pixel region contained in the substrate (10). After recognizing a pixel region using the camera (30) having the second camera magnification, the control device (40) controls the camera (30) in a manner so as to image the pattern to be measured using the camera (30) having the first camera magnification.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure de largeur de traits qui est capable de mesurer précisément et efficacement un sujet de mesure. Le dispositif de mesure de largeur de traits (100), qui mesure la largeur des traits d'un motif à mesurer, comporte les éléments suivants : un appareil photo (30) qui forme une image du motif à mesurer ; un dispositif de déplacement de l'appareil photo (32) ; et un dispositif de commande (40) qui commande le déplacement du dispositif de déplacement de l'appareil photo (32). Le motif à mesurer est formé sur un substrat (10) pour un panneau à cristaux liquides d'un affichage en au moins quatre couleurs. Le dispositif de commande (40) est raccordé à un dispositif d'enregistrement (50) dans lequel est stocké un programme d'analyse d'image (52) qui exécute une analyse d'image sur un motif dont une image a été formée par l'appareil photo (30). Le dispositif de commande (40) est également raccordé à un dispositif de commutation du grossissement de l'appareil photo (55), qui assure une commutation entre un premier grossissement d'appareil photo (grossissement normal, par exemple x50) pour mesurer la largeur des traits du motif à mesurer et un deuxième grossissement d'appareil photo (faible grossissement, par exemple x20) pour reconnaître une région de pixels contenue dans le substrat (10). Après la reconnaissance d'une région de pixels en utilisant l'appareil photo (30) avec le deuxième grossissement d'appareil photo, le dispositif de commande (40) commande l'appareil photo (30) de façon à former une image du motif à mesurer en utilisant l'appareil photo (30) avec le premier grossissement d'appareil photo.
(JA) 被測定対象を正確に且つ効率的に測定することが可能な線幅測定装置を提供する。測定対象のパターンの線幅を測定する線幅測定装置100であり、測定対象のパターンを撮像するカメラ30と、カメラ移動装置32と、カメラ移動装置32の移動を制御する制御装置40とを備える。測定対象のパターンは、少なくとも4原色の表示による液晶パネル用の基板10に形成されており、制御装置40は、カメラ30が撮像したパターンを画像解析する画像解析プログラム52が格納された記憶装置50に接続されている。そして、制御装置40は、測定対象のパターンの線幅を測定する第1カメラ倍率(通常倍率:例えば50倍)と、基板10に含まれる絵素領域を認識する第2カメラ倍率(低倍率:例えば20倍)とを切り替えるカメラ倍率切替装置55に接続されている。制御装置40は、第2カメラ倍率を有するカメラ30にて絵素領域を認識した後、第1カメラ倍率を有するカメラ30にて測定対象のパターンを撮像するようにカメラ30を制御する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)