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1. (WO2012111603) LINE WIDTH MEASUREMENT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/111603    International Application No.:    PCT/JP2012/053251
Publication Date: 23.08.2012 International Filing Date: 13.02.2012
IPC:
G01B 11/02 (2006.01)
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (For All Designated States Except US).
KATO, Masahiro; (For US Only)
Inventors: KATO, Masahiro;
Agent: TESHIMA Masaru; Teshima Patent Law Firm 5F MF MinamiMorimachi Bldg. 2-3-8, Tenjinbashi Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300041 (JP)
Priority Data:
2011-031562 17.02.2011 JP
Title (EN) LINE WIDTH MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE LARGEUR DE TRAIT
(JA) 線幅測定装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a line width measurement device that can accurately and efficiently measure a measurement subject. The line width measurement device (100), which measures the line width of a pattern to be measured, is provided with: a camera (30) that images the pattern to be measured; a camera moving device (32); and a control device (40) that controls the movement of the camera moving device (32). The control device (40) is connected to a recording device (50) that stores an image analysis program (52) that performs image analysis on a pattern imaged by the camera (30). The control device (40) is connected to an accumulated data saving device (55) that accumulates data of movement deviation between the position of the camera (30) moved by the camera moving device (32) and the position of a predetermined pattern imaged by the camera (30). The control device (40) controls the movement of the camera moving device (32) on the basis of the data of movement deviation accumulated in the accumulated data saving device (55).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure de la largeur de trait, qui peut mesurer de manière précise et fiable un objet de mesure. Ledit dispositif de mesure de largeur de trait (100), qui mesure la largeur de trait d'un modèle à mesurer, comprend: une caméra (30) qui réalise une image du modèle à mesurer, un dispositif de déplacement de la caméra (32) et un dispositif de commande (40) qui régule le mouvement du dispositif de déplacement de la caméra (32). Ledit dispositif de commande (40) est relié à un dispositif d'enregistrement (50) qui mémorise un programme d'analyse d'images (52) qui effectue l'analyse d'images concernant un modèle mis en image par la caméra (30). Le dispositif de commande (40) est relié à un dispositif de sauvegarde de données cumulées (55) qui cumule les données de l'écart de mouvement entre la position de la caméra (30) déplacée par le dispositif de déplacement de la caméra (32) et la position d'un modèle prédéterminé mis en image par le dispositif de déplacement de la caméra (32) sur la base des données de l'écart de mouvement cumulées dans le dispositif de sauvegarde des données cumulées.
(JA) 被測定対象を正確に且つ効率的に測定することが可能な線幅測定装置を提供する。測定対象のパターンの線幅を測定する線幅測定装置100は、測定対象のパターンを撮像するカメラ30と、カメラ移動装置32と、カメラ移動装置32の移動を制御する制御装置40とを備える。制御装置40は、カメラ30が撮像したパターンを画像解析する画像解析プログラム52が格納された記憶装置50に接続されている。制御装置40は、カメラ移動装置32によって移動させたカメラ30の位置と、カメラ30によって撮像する予定のパターンの位置との移動ズレのデータを蓄積する蓄積データ保存装置55に接続されている。制御装置40は、蓄積データ保存装置55に蓄積された移動ズレのデータに基づいて、カメラ移動装置32の移動を制御する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)