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Pub. No.:    WO/2012/111590    International Application No.:    PCT/JP2012/053230
Publication Date: 23.08.2012 International Filing Date: 13.02.2012
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01)
Applicants: BRIDGESTONE CORPORATION [JP/JP]; 10-1, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048340 (JP) (For All Designated States Except US).
SUZUKI Takahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AKAMA Shuuyou [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SUZUKI Takahiro; (JP).
AKAMA Shuuyou; (JP)
Agent: ETOH Toshiaki; Showa Bldg., 9F, 8-18, Kyobashi 2-chome, Chuo-ku Tokyo 1040031 (JP)
Priority Data:
2011-030246 15.02.2011 JP
(JA) インプリント装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is an imprinting apparatus such that fluctuation in the dimensions of a stamper due to heat is prevented, and manufacturing cost is reduced. The imprinting apparatus (10) positions a stamper (56) having a recess/protrusion pattern at the surface thereof over an ultraviolet-curable resin material (54) supplied on a substrate (52), presses the stamper (56) by using fluid to apply pressure to the back face of the stamper (56), cures the ultraviolet-curable resin material (54) by irradiating ultraviolet rays thereupon, and forms a recess/protrusion pattern on the surface of the substrate (52). The imprinting apparatus is characterized by comprising a holding member (14) that holds the substrate (52), and a pressure- resistant body (12) facing the holding member (14), said pressure-resistant body (12) being provided with, on the bottom section thereof, LEDs (16) for irradiating ultraviolet rays upon the ultraviolet-curable resin material (54), and the bottom section of the pressure-resistant body (12) and the holding member (14) being arranged in opposition to each other.
(FR)L'invention concerne un appareil d'estampage caractérisé en ce que la fluctuation des dimensions d'une matrice du fait de la chaleur est empêchée, et en ce que les coûts de fabrication sont réduits. L'appareil (10) d'estampage positionne une matrice (56) dotée d'un motif d'évidements / de protubérances à sa surface au-dessus d'un matériau (54) en résine durcissable par ultraviolets appliqué sur un substrat (52), presse la matrice (56) en utilisant un fluide pour appliquer une pression à la face arrière de la matrice (56), durcit le matériau (54) en résine durcissable par ultraviolets en irradiant des rayons ultraviolets sur celui-ci et forme un motif d'évidements / de protubérances sur la surface du substrat (52). L'appareil d'estampage est caractérisé en ce qu'il comporte un organe (14) de maintien qui maintient le substrat (52) et un corps (12) résistant à la pression faisant face à l'organe (14) de maintien, ledit corps (12) résistant à la pression étant muni, sur sa section inférieure, des DEL (16) servant à irradier des rayons ultraviolets sur le matériau (54) en résine durcissable par ultraviolets, et en ce que la section inférieure du corps (12) résistant à la pression et l'organe (14) de maintien sont disposés en opposition mutuelle.
(JA) 熱によるスタンパの寸法変化が防止され、製造コストが削減されたインプリント装置を提供すること。 表面に凹凸パターンを有するスタンパ56を、基板52上に供給された紫外線硬化樹脂材料54の上に配置し、該スタンパ56の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ56を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料54を硬化させ、前記基板52の表面に凹凸パターンを形成するインプリント装置10において、前記基板52を保持する保持部材14と、前記保持部材14と対向する耐圧体12と、を有し、前記耐圧体12は、その底部に前記紫外線硬化樹脂材料54に紫外線を照射するLED16を備え、且つ前記耐圧体12の底部と前記保持部材14とが対向するように配置されていることを特徴とするインプリント装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)