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1. (WO2012110406) OPTICAL MOUNT AND EUV EXPOSURE APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/110406    International Application No.:    PCT/EP2012/052259
Publication Date: 23.08.2012 International Filing Date: 10.02.2012
IPC:
G02B 7/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Straße 2 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
GEUPPERT, Bernhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RABE, Rodolfo [BR/DE]; (DE) (For US Only).
SCHÖNHOFF, Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GEUPPERT, Bernhard; (DE).
RABE, Rodolfo; (DE).
SCHÖNHOFF, Ulrich; (DE)
Agent: FRANK, Hartmut; Bonsmann . Bonsmann . Frank Reichspräsidentenstrasse 21-25 45470 Mülheim a.d. Ruhr (DE)
Priority Data:
10 2011 004 299.7 17.02.2011 DE
61/443,843 17.02.2011 US
10 2011 082 994.6 20.09.2011 DE
61/536,655 20.09.2011 US
Title (EN) OPTICAL MOUNT AND EUV EXPOSURE APPARATUS
(FR) MONTURE OPTIQUE ET APPAREIL D'EXPOSITION EUV
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an arrangement for mounting an optical element, in particular in an EUV projection exposure apparatus, comprising at least one actuator (350, 450, 550) which exerts a controllable force on the optical element; wherein between the actuator (350, 450, 550) and the optical element a mechanical coupling in the form of a pin (110, 210, 310, 410, 510) is embodied in such a way that, relative to the drive axis of the actuator (350, 450, 550), the ratio of the stiffness of said mechanical coupling in an axial direction to the stiffness in a lateral direction is at least 100; and at least one damping element (130, 230, 330, 430, 530, 630) which brings about a damping of a natural vibration form of the pin (110, 210, 310, 410, 510) in a lateral direction.
(FR)La présente invention se rapporte à un agencement permettant de monter un élément optique, en particulier dans un appareil d'exposition par projection d'EUV, qui comprend : au moins un actionneur (350, 450, 550) qui exerce une force contrôlable sur l'élément optique, un couplage mécanique sous la forme d'une goupille (110, 210, 310, 410, 510) étant incorporé entre l'actionneur (350, 450, 550) et l'élément optique de manière à ce que, par rapport à l'axe d'entraînement de l'actionneur (350, 450, 550), le rapport entre la rigidité dudit couplage mécanique dans une direction axiale et la rigidité dans une direction latérale soit d'au moins 100; ainsi qu'au moins un élément d'amortissement (130, 230, 330, 430, 530, 630) qui entraîne l'amortissement d'une forme de vibration naturelle de la goupille (110, 210, 310, 410, 510) dans une direction latérale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)