WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012109441) WIDE PROCESS RANGE LIBRARY FOR METROLOGY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/109441    International Application No.:    PCT/US2012/024477
Publication Date: 16.08.2012 International Filing Date: 09.02.2012
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; Akasaka Biz Tower 3-1 Akasaka 5-chome Minatoku 107-6325 (JP) (For All Designated States Except US).
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US) (For All Designated States Except US).
HENCH, John J. [US/US]; (US) (For US Only).
JIN, Wen [CN/US]; (US) (For US Only).
BAO, Junwei [CN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HENCH, John J.; (US).
JIN, Wen; (US).
BAO, Junwei; (US)
Agent: VINCENT, Lester J.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 1279 Oakmead Parkway Sunnyvale, CA 94085-4040 (US)
Priority Data:
13/025,654 11.02.2011 US
Title (EN) WIDE PROCESS RANGE LIBRARY FOR METROLOGY
(FR) BIBLIOTHÈQUE À LARGE PLAGE DE TRAITEMENT POUR MÉTROLOGIE
Abstract: front page image
(EN)Methods of generating wide process range libraries for metrology are described. For example, a method includes generating a first library having a first process range for a first parameter. A second library is generated having a second process range for the first parameter. The second process range is overlapping with the first process range. The second library is stitched to the first library to generate a third library having a third process range for the first parameter. The third process range is wider than each of the first and second process ranges.
(FR)L'invention porte sur des procédés de génération de bibliothèques à large plage de traitement pour la métrologie. Par exemple, un procédé consiste à générer une première bibliothèque ayant une première plage de traitement pour un premier paramètre. Une deuxième bibliothèque est générée ayant une deuxième plage de traitement pour le premier paramètre. La deuxième plage de traitement chevauche la première plage de traitement. La deuxième bibliothèque est assemblée à la première bibliothèque pour générer une troisième bibliothèque ayant une troisième plage de traitement pour le premier paramètre. La troisième plage de traitement est plus large que chacune des première et deuxième plages de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)