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1. (WO2012109134) METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING A PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/109134    International Application No.:    PCT/US2012/023950
Publication Date: 16.08.2012 International Filing Date: 06.02.2012
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
LOLDJ, Youssef A. [US/US]; (US) (For US Only).
JUNG, Jay J. [US/US]; (US) (For US Only).
MOALEM, Mehran [US/US]; (US) (For US Only).
FISHER, Paul E. [US/US]; (US) (For US Only).
PUTZ, Joshua [US/US]; (US) (For US Only).
NEUBER, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: LOLDJ, Youssef A.; (US).
JUNG, Jay J.; (US).
MOALEM, Mehran; (US).
FISHER, Paul E.; (US).
PUTZ, Joshua; (US).
NEUBER, Andreas; (DE)
Agent: TABOADA, Alan; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Priority Data:
61/442,277 13.02.2011 US
13/359,899 27.01.2012 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING A PROCESSING SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMMANDE D'UN SYSTÈME DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatus for controlling a processing system are provided herein. In some embodiments, a method of controlling a processing system may include operating a vacuum pump coupled to a process chamber at a first baseline pump idle speed selected to maintain the process chamber at a pressure equal to a first baseline pump idle pressure; monitoring the pressure in the process chamber while operating the vacuum pump at the first baseline pump idle speed; and determining whether the first baseline pump idle pressure can be maintained in the process chamber when the vacuum pump is operating at the first baseline pump idle speed.
(FR)L'invention concerne des procédés et un appareil pour commander un système de traitement. Dans des modes de réalisation, un procédé de commande d'un système de traitement peut consister à actionner une pompe à vide couplée à une chambre de traitement à un premier régime de ralenti de pompe de base sélectionné pour maintenir la chambre de traitement à une pression égale à une première pression de ralenti de pompe de base; à surveiller la pression dans la chambre de traitement tout en actionnant la pompe à vide au premier régime de pompe de base; et à déterminer si la pression de ralenti de pompe de base peut être maintenue dans la chambre de traitement lorsque la pompe à vide fonctionne au premier régime de pompe de base.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)