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1. (WO2012107535) DEVICE, ARRANGEMENT, AND METHOD FOR THE INTERFERENCE STRUCTURING OF PLANAR SAMPLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/107535    International Application No.:    PCT/EP2012/052244
Publication Date: 16.08.2012 International Filing Date: 09.02.2012
IPC:
B23K 26/067 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01), B23K 26/073 (2006.01), G03H 1/30 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
LASAGNI, Andrés Fabián [AR/DE]; (DE) (For US Only).
ROCH, Teja [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BEYER, Eckhard [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: LASAGNI, Andrés Fabián; (DE).
ROCH, Teja; (DE).
BEYER, Eckhard; (DE)
Agent: PFENNING, MEINIG & PARTNER; Patent- Und Rechtsanwälte An Der Frauenkirche 20 01067 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2011 011 734.2 10.02.2011 DE
Title (DE) VORRICHTUNG, ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR INTERFERENZSTRUKTURIERUNG VON FLÄCHIGEN PROBEN
(EN) DEVICE, ARRANGEMENT, AND METHOD FOR THE INTERFERENCE STRUCTURING OF PLANAR SAMPLES
(FR) DISPOSITIF, SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE STRUCTURATION D'ÉCHANTILLONS PLATS PAR INTERFÉRENCES
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (sowie ein entsprechendes Verfahren) zur Interferenzstrukturierung einer flächigen Probe (P) mit einem Laser (1), einem im Strahlengang des Lasers angeordneten Fokussierelement (3, 3a, 3b) mit dem die Laserstrahlung in einer ersten Raumrichtung (y) fokussierbar ist, einem im Strahlengang des Lasers angeordneten ersten Prisma (4), insbesondere einem Biprisma, mit dem die Laserstrahlung in einer zweiten, zur ersten Raumrichtung bevorzugt orthogonalen Raumrichtung (x) mit zwei Strahlenbündeln (2a, 2b) so auf ein Probenvolumen (5) richtbar ist, dass die beiden Strahlenbündel innerhalb des Probenvolumens in einem Interferenzbereich (6) interferieren, dem Probenvolumen, in dem die flächige Probe im Interferenzbereich platzierbar ist oder platziert ist, und einer Bewegungseinheit (7), mit der das/die Strahlenbündel der Laserstrahlung in der ersten, der zweiten oder der ersten und der zweiten Raumrichtung (x, y) bewegbar ist/sind und/oder mit der eine/die Probe im Probenvolumen in die erste, die zweite oder die erste und die zweite Raumrichtung (x, y) bewegbar ist.
(EN)The invention relates to a device (and a corresponding method) for the interference structuring of a planar sample (P), comprising a laser (1), a focusing element (3, 3a, 3b), which is arranged in the beam path of the laser and by means of which the laser radiation can be focused in a first spatial direction (y), a first prism (4), in particular a biprism, which is arranged in the beam path of the laser and by means of which the laser radiation can be directed at a sample volume (5) in a second spatial direction (x) preferably perpendicular to the first spatial direction by means of two beams (2a, 2b), in such a way that the two beams interfere within the sample volume in an interference area (6), the sample volume, in which the planar sample is or can be placed in the interference area, and a moving unit (7), by means of which the beam(s) of the laser radiation can be moved in the first, the second, or the first and second spatial directions (x, y) and/or by means of which a/the sample can be moved in the sample volume in the first, the second, or the first and second spatial directions (x, y).
(FR)La présente invention concerne un dispositif (ainsi qu'un procédé correspondant) de structuration d'un échantillon plat (P) par interférences, ledit dispositif comportant un laser (1), un élément de focalisation (3, 3a, 3b) qui est agencé sur le chemin optique du laser et qui permet de focaliser le rayonnement laser dans une première direction spatiale (y), un premier prisme (4), en particulier un biprisme, qui est agencé dans le chemin optique du laser et qui permet de diriger le rayonnement laser en deux faisceaux laser (2a, 2b) dans une seconde direction axiale (x) de préférence orthogonale à la première direction spatiale sur un volume d'échantillon (5), de telle manière que les deux faisceaux interférent à l'intérieur du volume d'échantillon dans une zone d'interférences (6), dans laquelle l'échantillon plat est ou peut être placé. Le dispositif comporte également une unité de déplacement (7) permettant de déplacer le ou les faisceaux du rayonnement laser dans la première, la seconde ou la première et la seconde direction spatiale (x, y), et/ou de déplacer l'échantillon ou les échantillons dans le volume d'échantillon dans la première, la seconde ou la première et la seconde direction spatiale (x, y).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)