WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012106609) METHOD OF DETERMINING MULTILAYER THIN FILM DEPOSITION ON A PIEZOELECTRIC CRYSTAL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/106609    International Application No.:    PCT/US2012/023793
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 03.02.2012
IPC:
G01B 17/02 (2006.01), H01L 41/22 (2006.01)
Applicants: INFICON, INC. [US/US]; Two Technology Place East Syracuse, NY 13057 (US) (For All Designated States Except US).
WAJID, Abdul [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: WAJID, Abdul; (US)
Agent: BILINSKI, Peter J.; Hiscock & Barclay, LLP One Park Place, 300 South State Street Syracuse, NY 13202-2078 (US)
Priority Data:
13/020,381 03.02.2011 US
Title (EN) METHOD OF DETERMINING MULTILAYER THIN FILM DEPOSITION ON A PIEZOELECTRIC CRYSTAL
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN DÉPÔT DE FILM MINCE MULTICOUCHE SUR UN CRISTAL PIÉZOÉLECTRIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method for accurately calculating the thickness of deposited thin film layers onto a piezoelectric crystal blank in which dissimilar materials can be utilized, enabling determinations for various applications employing exotic materials. Additionally, the specific acoustic impedance (or equivalent z-ratio) of an unknown deposited material can be determined. The exact analytical solution nearly eliminates thickness errors when several layers of different materials are sequentially deposited on the same monitor quartz crystal.
(FR)L'invention porte sur un procédé pour calculer de manière précise l'épaisseur de couches de film mince déposées sur une ébauche de cristal piézoélectrique dans laquelle des matériaux différents peuvent être utilisés, permettant des déterminations pour différentes applications employant des matériaux exotiques. De plus, l'impédance acoustique spécifique (ou le rapport z équivalent) d'un matériau déposé inconnu peut être déterminée. La solution analytique exacte élimine quasiment des erreurs d'épaisseur lorsque plusieurs couches de matériaux différents sont déposées en séquences sur le même cristal de quartz de contrôle.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)