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1. (WO2012105313) VAPOR PHASE GROWING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/105313    International Application No.:    PCT/JP2012/050892
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 18.01.2012
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION [JP/JP]; 3-26, Koyama 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1428558 (JP) (For All Designated States Except US).
TN EMC LTD. [JP/JP]; 2008-2, Wada, Tama-city, Tokyo 2060001 (JP) (For All Designated States Except US).
IKENAGA, Kazutada [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UCHIYAMA, Kosuke [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: IKENAGA, Kazutada; (JP).
UCHIYAMA, Kosuke; (JP)
Agent: KIDO, Kazuhiko; Maruishi Building, 10-4, Kajicho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010044 (JP)
Priority Data:
2011-021505 03.02.2011 JP
Title (EN) VAPOR PHASE GROWING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CROISSANCE EN PHASE VAPEUR
(JA) 気相成長装置
Abstract: front page image
(EN)This vapor phase growing apparatus is provided with a rotating and revolving mechanism which can prevent rolling members from rolling over adjacent rolling members. The vapor phase growing apparatus is provided with the rotating and revolving mechanism, in which a susceptor (11), which is heated by means of a heating means, and which is rotated by means of a drive means, is provided with a plurality of substrate holding members (21) in the circumferential direction of the susceptor via rolling members (balls (22, 23)) such that the substrate holding members can rotate, the substrate holding members are rotated with rotation of the susceptor, and the substrates (12) held by means of the substrate holding members are rotated, while being revolved with respect to the rotating shaft of the susceptor. In the vapor phase growing apparatus, as the rolling members, rolling members having different diameters (large diameter balls (22) and small diameter balls (23)) are alternately disposed.
(FR)L'invention porte sur un appareil de croissance en phase vapeur pourvu d'un mécanisme rotatif et tournant qui permet d'empêcher les éléments roulants de rouler sur des éléments roulants adjacents. L'appareil de croissance en phase vapeur est pourvu du mécanisme rotatif et tournant, dans lequel un suscepteur (11), qui est chauffé au moyen d'un dispositif de chauffage et qui est entraîné en rotation à l'aide d'un moyen d'entraînement, est pourvu d'une pluralité d'éléments de retenue de substrat (21), dans la direction de la circonférence du suscepteur, par des éléments de roulement (des billes (22, 23)), de façon à ce que les éléments de retenue de substrat puissent être entraînés en rotation, les éléments de retenue de substrat étant entraînés en rotation avec la rotation du suscepteur et les substrats (12) retenus au moyen des éléments de retenue de substrat étant entraînés en rotation, tout en étant amenés à tourner par rapport à l'arbre de rotation du suscepteur. Dans l'appareil de croissance en phase vapeur, en tant qu'éléments de roulement, des éléments de roulement ayant différents diamètres (des billes de grand diamètre (22) et des billes de petit diamètre (23)) sont disposés en alternance.
(JA)転動部材が隣接する転動部材に乗り上がってしまうことを防止することができる自公転機構を備えた気相成長装置である。該気相成長装置は、加熱手段によって加熱されるとともに駆動手段によって回転するサセプタ11に、該サセプタの周方向に複数の基板保持部材21を転動部材(ボール22,23)を介して回転可能に設け、前記サセプタの回転に伴って前記基板保持部材を回転させ、該基板保持部材に保持された基板12をサセプタの回転軸に対して公転させながら自転させる自公転構造を備えた気相成長装置において、前記転動部材として、径が異なる転動部材(大径ボール22及び小径ボール23)を交互に配置する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)