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1. (WO2012105116) ROTATING BODY OF VACUUM PUMP, FIXED MEMBER PLACED TO BE OPPOSED TO SAME, AND VACUUM PUMP PROVIDED WITH THEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/105116    International Application No.:    PCT/JP2011/077301
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 28.11.2011
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
Applicants: Edwards Japan Limited [JP/JP]; 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi, Chiba 2768523 (JP) (For All Designated States Except US).
NONAKA Manabu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NONAKA Manabu; (JP)
Agent: WADA Shigenori; Tohko Building 4F, 15-16, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
Priority Data:
2011-022923 04.02.2011 JP
Title (EN) ROTATING BODY OF VACUUM PUMP, FIXED MEMBER PLACED TO BE OPPOSED TO SAME, AND VACUUM PUMP PROVIDED WITH THEM
(FR) CORPS ROTATIF DE POMPE À VIDE, ÉLÉMENT FIXE PLACÉ POUR ÊTRE OPPOSÉ À CELUI-CI, ET POMPE À VIDE LES COMPORTANT
(JA) 真空ポンプの回転体と、これに対向設置する固定部材、及び、これらを備えた真空ポンプ
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a rotating body of a vacuum pump suitable for obtaining highly reliable vacuum pump that attains improvement of discharge performance and improvement of the gas flow rate in which gas is capable of continuously discharging (= maximum flow rate) at the same time, a fixed member opposed to the same, and a vacuum pump provided with them. [Solution] A rotating body (rotor (6)) of a vacuum pump (P) has a part thereof (first cylinder (61)) that is made from fiber-reinforced plastic, is configured so as to discharge gas by rotation, is provided with a corrosion-resistant treatment layer (L1) on a fiber-reinforced plastic portion that is a base material thereof, and is provided with a high radiation factor layer (L3) having a higher radiation factor than the corrosion-resistant treatment layer (L1) on the corrosion-resistant treatment layer (L1). Fixed members (thread groove pump portion stators (18A, 18B)) opposed to the rotating body of the vacuum pump (P) are provided with high radiation factor layers (L4) having a higher radiation factor than base materials of the fixed members on surfaces opposed (facing surfaces) to the fiber-reinforced plastic portion (first cylinder (61)) of the rotating body.
(FR)L'invention vise à pourvoir à un corps rotatif d'une pompe à vide approprié pour obtenir une pompe à vide hautement fiable qui atteint une amélioration des performances de décharge et une amélioration du débit de gaz dans lequel un gaz est apte à être déchargé en continu (= débit maximal) en même temps, un élément fixe opposé à celui-ci et une pompe à vide les comportant. A cet effet, l'invention porte sur un corps rotatif (rotor (6)) d'une pompe à vide (P) qui a une partie de celui-ci (premier cylindre (61)) qui est réalisée à partir d'une matière plastique renforcée par des fibres, qui est configurée de façon à décharger un gaz par rotation, qui comporte une couche de traitement résistant à la corrosion (L1) sur une partie en matière plastique renforcée par des fibres qui est un matériau de base de celui-ci, et qui comporte une couche à facteur de rayonnement élevé (L3) ayant un facteur de rayonnement plus élevé que la couche de traitement résistant à la corrosion (L1) sur la couche de traitement résistant à la corrosion (L1). Des éléments fixes (stators de partie de pompe à rainure filetée (18A, 18B)) opposés au corps rotatif de la pompe à vide (P) comportent des couches à facteur de rayonnement élevé (L4) ayant un facteur de rayonnement plus élevé que des matériaux de base des éléments fixes sur des surfaces opposées (surfaces en vis-à-vis) sur la partie en matière plastique renforcée par des fibres (premier cylindre (61)) du corps rotatif.
(JA)【課題】排気性能の向上と、連続的に排気可能なガス流量(=最大流量)の向上と、を同時に実現する信頼性の高い真空ポンプを得るのに好適な真空ポンプの回転体と、これに対向する固定部材、及び、これらを備えた真空ポンプを提供する。 【解決手段】真空ポンプPの回転体(ロータ6)は、その一部(第1の筒体61)が繊維強化プラスティックからなり、回転によりガスを排気するように構成されていて、その母材である繊維強化プラスティック部上には耐食処理層L1が設けられ、この耐食処理層L1上には該耐食処理層L1より輻射率の高い高輻射率層L3が設けられる。真空ポンプPの回転体と対向する固定部材(ネジ溝ポンプ部ステータ18A、18B)は、前記回転体の繊維強化プラスティック部(第1の筒体61)と対向する面(対向面)に、その固定部材の母材より輻射率の高い高輻射率層L4が設けられる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)