WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012105109) VACUUM CONTROL VALVE, VACUUM CONTROL APPARATUS, AND COMPUTER PROGRAM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/105109    International Application No.:    PCT/JP2011/076756
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 21.11.2011
IPC:
F16K 1/32 (2006.01), F16K 1/00 (2006.01), F16K 31/126 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250,Ouji 2-chome,Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP) (For All Designated States Except US).
KOUKETSU, Masayuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITAFUJI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOUKETSU, Masayuki; (JP).
ITAFUJI, Hiroshi; (JP)
Agent: YAMADA, Tsuyoshi; Daiichi Hasegawa Bldg.6F,13-24,Meieki 3-chome,Nakamura-ku,Nagoya-shi, Aichi 4500002 (JP)
Priority Data:
2011-020586 02.02.2011 JP
Title (EN) VACUUM CONTROL VALVE, VACUUM CONTROL APPARATUS, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) SOUPAPE DE RÉGULATION DE VIDE, APPAREIL DE RÉGULATION DE VIDE ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) 真空制御バルブ、真空制御装置、およびコンピュータプログラム
Abstract: front page image
(EN)Provided is a poppet style vacuum control valve that controls the flow of gas inside a vacuum vessel that uses a plasma. The present invention provides a vacuum control valve (10) that is connected between the vacuum vessel where the plasma is generated and the vacuum pump and controls vacuum pressure inside the vacuum vessel by means of the degree to which the valve is opened. The vacuum control valve (10) is provided with the following: a control valve body (40) having a valve seat (43) formed in the vacuum flow path; a valve element (33) that controls the degree to which the valve is opened by adjusting by means of linear motion the degree of lift (La), that is, the distance between the valve element (33) and the valve seat (43); a rod that transmits the drive power from a linear drive unit that generates drive power; a sliding seal unit that causes the rod to slide and seal the vacuum flow path; and a cylindrical member (32) that sheathes the sliding range of the rod. The sliding range includes, depending on the degree of lift, the possible range of movement from the valve body flow path (46) side to the exterior side. The cylindrical member (32) has an outer peripheral surface with a lower degree of absorption of working fluid per unit of area than the exterior surface of the rod.
(FR)L'invention concerne une soupape de type champignon de régulation de vide qui régule l'écoulement d'un gaz dans un récipient sous vide qui utilise un plasma. La présente invention concerne une soupape de régulation de vide (10) qui est raccordée entre le récipient sous vide où le plasma est produit et la pompe à vide et qui régule la pression de vide dans le récipient sous vide grâce à son degré d'ouverture. La soupape de régulation de vide (10) comprend les éléments suivants : un corps de soupape de régulation (40) avec un siège de soupape (43) formé dans le chemin d'écoulement du vide ; un élément soupape (33) qui régule le degré d'ouverture de la soupape en ajustant, par un mouvement linéaire, la levée (La), c'est-à-dire la distance entre l'élément de soupape (33) et le siège de soupape (43) ; une tige qui transmet l'énergie d'entraînement d'une unité d'entraînement linéaire qui produit l'énergie d'entraînement ; une unité joint coulissant qui provoque le coulissement de la tige et l'étanchéité du chemin d'écoulement de vide ; et un élément cylindrique (32) qui gaine la course de coulissement de la tige. La course de coulissement comprend, selon la levée, l'amplitude de mouvement possible entre le côté chemin d'écoulement de vide du corps de soupape (46) et l'extérieur. L'élément cylindrique (32) comporte une surface périphérique extérieure avec un degré d'absorption de fluide de travail par unité de surface inférieur à la surface extérieure de la tige.
(JA) プラズマを使用する真空容器の気体の流れを制御するポペット方式の真空制御バルブを提供する。本発明は、プラズマを発生させる真空容器と真空ポンプとの間に接続され、弁開度の操作によって真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ10を提供する。真空制御バルブ10は、真空流路に形成されている弁座43を有する制御バルブ本体40と、直線運動によって弁座43との間の距離であるリフト量Laを調整して弁開度の操作を行う弁体33と、駆動力を発生させる直線駆動部からの駆動力を伝達させるロッドと、ロッドを摺動させて真空流路を封止する摺動封止部と、ロッドの摺動範囲を被覆する円筒型部材32とを備える。摺動範囲は、リフト量の操作によって、バルブボディ流路46側から外部側に移動可能な範囲を含む。円筒型部材32は、ロッドの外表面よりも単位面積当たりの作動流体の吸収量が少ない外周面を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)