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Pub. No.:    WO/2012/104942    International Application No.:    PCT/JP2011/006127
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 02.11.2011
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
OMINAMI, Yusuke [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITO, Sukehiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KATSUYAMA, Masami [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OMINAMI, Yusuke; (JP).
ITO, Sukehiro; (JP).
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2011-017383 31.01.2011 JP
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a charged particle beam apparatus or charged particle microscope capable of observing even large samples in an air atmosphere or a gas atmosphere. The present invention is a charged particle beam apparatus having a constitution that uses a thin film that divides a vacuum atmosphere and an air atmosphere (or gas atmosphere) wherein a charged particle optical lens tube that houses charged particle optics, a housing that maintains a pathway for a primary charged particle beam emitted from the charged particle optical lens tube to reach the thin film in a vacuum atmosphere, and a mechanism that supports the charged particle beam optical lens tube and a first housing on an apparatus installation surface. A housing having an opening for bringing in large samples or a mechanism with a shape other than that of a housing, such as a columnar support is used for the support mechanism.
(FR)L'invention porte sur un appareil à faisceau de particules chargées ou sur un microscope à particules chargées apte à observer même de grands échantillons dans une atmosphère d'air ou dans une atmosphère gazeuse. La présente invention porte sur un appareil à faisceau de particules chargées, lequel appareil a une constitution qui utilise un film mince qui sépare une atmosphère de vide et une atmosphère d'air (ou une atmosphère gazeuse), et dans lequel un tube d'objectif optique de particules chargées renferme des optiques de particules chargées, un boîtier maintient un trajet pour un faisceau de particules chargées primaire émis à partir du tube d'objectif optique de particules chargées afin d'atteindre le film mince dans une atmosphère de vide, et un mécanisme supporte le tube d'objectif optique de faisceau de particules chargées et un premier boîtier sur une surface d'installation d'appareil. Un boîtier ayant une ouverture pour faire rentrer de grands échantillons, ou un mécanisme avec une forme autre que celle d'un boîtier, tel qu'un support à colonnes, est utilisé pour le mécanisme de support.
(JA) 大型の試料であっても大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。 真空雰囲気と大気雰囲気(ないしガス雰囲気)を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、荷電粒子光学系を格納する荷電粒子光学鏡筒と、当該荷電粒子光学鏡筒から出射される一次荷電粒子線が前記薄膜まで到達するための経路を真空雰囲気に維持する筐体と、上記荷電粒子光学鏡筒と第1の筐体を装置設置面に対して支持する機構とを備え、当該支持機構として、大型試料を搬入するための開放口を有する筐体、あるいは支柱など筐体以外の形状の機構を採用する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)