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1. (WO2012104625) ADAPTIVE MODE SCANNING PROBE MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/104625    International Application No.:    PCT/GB2012/050204
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 31.01.2012
IPC:
B82Y 35/00 (2011.01), G01Q 10/06 (2010.01)
Applicants: INFINITESIMA LIMITED [GB/GB]; Oxford Centre for Innovation New Road Oxford Oxfordshire OX1 1BY (GB) (For All Designated States Except US).
HUMPHRIS, Andrew [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: HUMPHRIS, Andrew; (GB)
Agent: RIBEIRO, James; 4 More London Riverside London Middlesex SE1 2AU (GB)
Priority Data:
1101636.7 31.01.2011 GB
1121196.8 09.12.2011 GB
Title (EN) ADAPTIVE MODE SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE À MODE ADAPTATIF
Abstract: front page image
(EN)A scanning probe microscope comprising a probe that is mechanically responsive to a driving force. A signal generator provides a drive signal to an actuator that generates the driving force, the drive signal being such as to cause the actuator to move the probe repeatedly towards and away from a sample. A detection system is arranged to output a height signal indicative of a path difference between light reflected from the probe and a height reference beam. Image processing apparatus is arranged to use the height signal to form an image of the sample. Signal processing apparatus is arranged to monitor the probe as the probe approaches a sample and to detect a surface position at which the probe interacts with the sample. In response to detection of the surface position, the signal processing apparatus prompts the signal generator to modify the drive signal.
(FR)L'invention porte sur un microscope-sonde à balayage, lequel microscope comprend une sonde qui réagit mécaniquement à une force d'entraînement. Un générateur de signal délivre un signal d'entraînement à un actionneur qui génère la force d'entraînement, le signal d'entraînement étant tel qu'il provoque le déplacement par l'actionneur de la sonde de façon répétée vers un échantillon et de façon à s'éloigner de celui-ci. Un système de détection est configuré de façon à délivrer en sortie un signal de hauteur indicatif d'une différence de trajectoire entre une lumière réfléchie à partir de la sonde et un faisceau de référence de hauteur. Un appareil de traitement d'image est configuré de façon à utiliser le signal de hauteur pour former une image de l'échantillon. Un appareil de traitement du signal est configuré de façon à contrôler la sonde quand la sonde s'approche d'un échantillon et à détecter une position de surface à laquelle la sonde interagit avec l'échantillon. En réponse à la détection de la position de surface, l'appareil de traitement du signal ordonne au générateur de signal de modifier le signal d'entraînement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)