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1. (WO2012103897) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING OPTICAL PROPERTIES BY SIMULTANEOUS MEASUREMENT OF INTENSITIES AT THIN LAYERS USING LIGHT OF SEVERAL WAVELENGTHS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/103897    International Application No.:    PCT/EP2011/000419
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 31.01.2011
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01N 21/25 (2006.01), G01N 21/77 (2006.01), G01N 21/84 (2006.01)
Applicants: BIAMETRICS GMBH [DE/DE]; Auf der Morgenstelle 8 72076 Tübingen (DE) (For All Designated States Except US).
PROLL, Günther [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PRÖLL, Florian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PROLL, Günther; (DE).
PRÖLL, Florian; (DE)
Agent: WÜSTEFELD, Regine; Hintere Grabenstrasse 26 72070 Tübingen (DE)
Priority Data:
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG OPTISCHER EIGENSCHAFTEN DURCH GLEICHZEITIGES MESSEN VON INTENSITÄTEN AN DÜNNEN SCHICHTEN MIT LICHT VON MEHREREN WELLENLÄNGEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING OPTICAL PROPERTIES BY SIMULTANEOUS MEASUREMENT OF INTENSITIES AT THIN LAYERS USING LIGHT OF SEVERAL WAVELENGTHS
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LA DÉTERMINATION DE PROPRIÉTÉS OPTIQUES PAR MESURE SIMULTANÉE D'INTENSITÉS SUR DES COUCHES MINCES AVEC DE LA LUMIÈRE DE PLUSIEURS LONGUEURS D'ONDE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung optischer Eigenschaften durch Messen von Intensitäten an einer dünnen Schicht (15), bei dem Licht in die dünne Schicht (15) eingestrahlt wird, wobei das Licht zunächst einen Strahlenteiler (7) passiert, der einen Teil des Lichts auf die dünne Schicht (15) und einen weiteren Teil des Lichts auf einen hochauflösenden Referenzdetektor (19') leitet, Interferenzen an der zumindest einen dünnen Schicht (15) über einen hochauflösenden Detektor (19) erfaßt und an eine Auswerteeinheit weitergeleitet werden, welche die Reflexions- und/oder Transmissionskoeffizienten bestimmt, die dabei mit der optischen Schichtdicke unter Abgleich mit zumindest einer in der Auswerteeinheit hinterlegten Datenbank korreliert werden, so daß sich die optische Schichtdicke über eine Grauwertanalyse und einen in der zumindest einen Datenbank hinterlegten Umrechnungsfaktor als Grauwertänderung ergibt. Die Erfindung betrifft ebenso eine entsprechende Vorrichtung und bevorzugte Verwendungen.
(EN)The invention relates to a method for determining optical properties by measuring intensities at a thin layer (15), in which method the light is directed into the thin layer (15), wherein the light passes first of all through a beam splitter (7), which directs a part of the light onto the thin layer (15) and a further part of the light onto a high-resolution reference detector (19'), interference at the at least one thin layer (15) is detected via a high-resolution detector (19) and forwarded to an evaluating unit, which determines the reflection and/or transmission coefficients, which are correlated with the optical layer thickness by means of a comparison using at least one database stored in the evaluating unit, so that the optical layer thickness is obtained as a gray scale value modification by way of a gray scale value analysis and a conversion factor stored in the at least one data base. The invention also relates to a corresponding device and to preferred uses.
(FR)L'invention concerne un procédé pour la détermination de propriétés optiques par mesure d'intensités sur une couche mince (15), caractérisé en ce que de la lumière est rayonnée dans la couche mince (15). La lumière traverse d'abord un diviseur de rayons (7) qui envoie une partie de la lumière sur la couche mince (15) et une autre partie de la lumière sur un détecteur de référence à haute résolution (19'). Les interférences sur la ou les couches minces (15) sont captées au moyen d'un détecteur à haute résolution (19), et transmises à une unité d'évaluation qui détermine les coefficients de réflexion et/ou de transmission, lesquels sont corrélés avec l'épaisseur de couche optique après égalisation avec au moins une base de données enregistrée dans l'unité d'évaluation, de telle sorte que l'épaisseur de couche optique est déduite par l'intermédiaire d'une analyse de valeurs de gris et d'un facteur de conversion enregistré dans la ou les bases de données comme variation de la valeur de gris. L'invention concerne également un dispositif correspondant et des applications préférées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)