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1. (WO2012103885) SEPARATING DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A CRUCIBLE FOR SAID SEPARATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/103885    International Application No.:    PCT/DE2012/100020
Publication Date: 09.08.2012 International Filing Date: 31.01.2012
IPC:
C23C 8/10 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23F 1/18 (2006.01)
Applicants: SOLIBRO GMBH [DE/DE]; Sonnenallee 32 - 36 06766 Bitterfeld-Wolfen (DE) (For All Designated States Except US).
MATHIASSON, Johan [SE/SE]; (SE) (For US Only)
Inventors: MATHIASSON, Johan; (SE)
Priority Data:
10 2011 000 502.1 04.02.2011 DE
Title (DE) ABSCHEIDEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES TIEGELS HIERFÜR
(EN) SEPARATING DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A CRUCIBLE FOR SAID SEPARATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SÉPARATION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CREUSET ASSOCIÉ
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Abscheidevorrichtung, aufweisend einen Tiegel (1) und Heizmittel (2), welche angeordnet sind, Verdampfungsmaterial (3) in dem Tiegel (1) aufzuwärmen, wobei der Tiegel (1) einen metallischen Körper (11) und einen Schutzschicht (13) aufweist, welche Titanoxid (TixOy) umfasst und zumindest einen Teil der Innenoberfläche (12) des metallischen Körpers (11) bedeckt. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Tiegels (1) für eine derartige Abscheidevorrichtung.
(EN)The invention relates to a separating device, comprising a crucible (1) and heating means (2) that are arranged to heat up evaporation material (3) in the crucible (1), wherein the crucible (1) comprises a metal body (11) and a protective layer (13) that contains titanium oxide (TixOy) and covers at least a part of the inner surface (12) of the metal body (11). The invention further relates to a method for producing a crucible (1) for such a separating device.
(FR)L'invention concerne un dispositif de séparation comprenant un creuset (1) et des moyens de chauffage (2) conçus pour chauffer un matériau d'évaporation (3) dans le creuset (1). Le creuset (1) comprend un corps métallique (11) et une couche de protection (13) comprenant de l'oxyde de titane (TixOy) et recouvrant au moins une partie de la surface intérieure (12) du corps métallique (11). L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un creuset (1) pour un dispositif de séparation de ce type.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)