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1. (WO2012102541) TRANSPARENT SHEET INCLUDING OPTICAL FIBER CABLE, AND METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING POLISHING END POINT IN CMP PROCESS USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/102541    International Application No.:    PCT/KR2012/000574
Publication Date: 02.08.2012 International Filing Date: 20.01.2012
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: Oh, Chan Kwon [KR/KR]; (KR).
Kim, Yong Tae [KR/KR]; (KR)
Inventors: Oh, Chan Kwon; (KR).
Kim, Yong Tae; (KR)
Agent: LEE, Jong Yae; 3F., Somang Bldg., 723-5, Yeoksam-dong, Gangnam-gu, Seoul 135-080 (KR)
Priority Data:
10-2011-0007308 25.01.2011 KR
Title (EN) TRANSPARENT SHEET INCLUDING OPTICAL FIBER CABLE, AND METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING POLISHING END POINT IN CMP PROCESS USING SAME
(FR) FEUILLE TRANSPARENTE COMPRENANT UN CÂBLE DE FIBRE OPTIQUE, ET PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE DÉTECTER UNE LIMITE DE POLISSAGE DANS UN PROCÉDÉ DE POLISSAGE MÉCANOCHIMIQUE (CMP) L'UTILISANT
(KO) 광섬유케이블이 포함된 투과성시트, 이를 이용한 CMP공정에서의 연마종결점 검출방법 및 장치
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a transparent sheet including an optical fiber cable, and a method and apparatus for detecting a polishing end point in a CMP process using the same, the apparatus comprising: a platen which rotates about a central rotating shaft; a polishing pad and a transparent sheet which are connected to an upper portion of the platen; a polishing head which supports a semiconductor wafer to face the polishing pad and transparent sheet, and rotates by a rotating shaft fixed to an arm; an optical fiber cable which is provided in the transparent sheet; and a light detecting unit which is connected to a rear end portion of the optical fiber cable, and is fixedly connected to a lower portion or side portion of the platen. By configuring a transparent sheet including an optical fiber cable and a polishing end point detecting apparatus using the same according to the present invention, there is no interference on an optical path, articles of consumption can be easily changed according to a simple configuration of a CMP device, a situation in which the accuracy of detection is degraded is not generated although air gaps, slurry leakages, or vapor problems are generated because the problems exert no influence upon the light detector, and a polishing end point during a CMP process can be conveniently and precisely detected.
(FR)La présente invention concerne une feuille transparente comprenant un câble de fibre optique, et un procédé et un appareil permettant de détecter une limite de polissage dans un procédé CMP l'utilisant. L'appareil comprend : une platine qui tourne autour d'un arbre rotatif central; un tampon de polissage et une feuille transparente qui sont raccordés à une partie supérieure de la platine; une tête de polissage qui soutient une tranche semi-conductrice pour qu'elle soit face au tampon de polissage et à la feuille transparente, et qui tourne sous l'effet d'un arbre rotatif fixé à un bras; un câble de fibre optique qui est disposé dans la feuille transparente; et une unité de détection de la lumière qui est connectée à une partie d'extrémité arrière du câble de fibre optique, et est connectée de façon fixe à une partie inférieure ou une partie latérale de la platine. Par la configuration d'une feuille transparente comprenant un câble de fibre optique et un appareil de détection d'une limite de polissage l'utilisant selon la présente invention, il n'existe pas d'interférence sur un trajet optique, des articles de consommation peuvent être facilement changés selon une configuration simple du dispositif CMP, une situation dans laquelle la précision de détection est dégradée ne se produit pas bien que des lames d'air, des fuites de bouillies ou des problèmes de vapeur soient générés du fait que les problèmes n'exercent pas d'influence sur le détecteur de lumière, et une limite de polissage au cours d'un procédé CMP peut être détectée de façon pratique et précise.
(KO)본 발명은 광섬유케이블이 포함된 투과성시트, 이를 이용한 CMP공정에서의 연마종결점 검출방법 및 장치에 관한 것으로서, 중심회전축을 중심으로 회전하는 플래튼; 상기 플래튼 상부에 결합되는 연마패드 및 투과성시트; 상기 연마패드 및 투과성시트에 대향하여 반도체 웨이퍼를 지지하며, 아암에 고정된 회전축에 의하여 회전하는 연마헤드; 상기 투과성시트내에 구비되는 광섬유케이블; 상기 광섬유케이블의 후단부에 연결되고 상기 플래튼 하부 또는 측부에 고정결합되는 광검출부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명과 같이 광섬유케이블이 포함된 투과성시트 및 이를 포함하는 연마종말점 검출장치를 구성함으로써, 광 경로에 간섭됨이 없고, 간편한 CMP장치구성에 따른 소모품의 교체가 용이하며, 간극(air gap), 슬러리 누출 및 수증기 문제가 발생되더라도 광검출기에 영향을 받지 않아 검출 정밀도가 저하되는 일이 발생되지 않으며, CMP공정과정에서 연마종결점을 간편하고 정밀하게 검출할 수 있게 된다.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)