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1. (WO2012102301) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/102301    International Application No.:    PCT/JP2012/051530
Publication Date: 02.08.2012 International Filing Date: 25.01.2012
IPC:
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
HOQUE Shahedul [BD/JP]; (JP) (For US Only).
KAWANO Hajime [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HOQUE Shahedul; (JP).
KAWANO Hajime; (JP)
Agent: ASAMURA PATENT OFFICE, p.c.; Tennoz Central Tower, 2-2-24 Higashi-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 1408776 (JP)
Priority Data:
2011-015903 28.01.2011 JP
Title (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査電子顕微鏡
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a scanning electron microscope provided with a function for scanning a sample with a first beam that forms a preliminary charge on a surface of the sample (1909) for highly efficient detection of electrons (1910) released from the bottom of the contact hole or the like and thereafter scanning with a second beam for observing the sample. The scanning electron microscope is characterized by scanning deflectors (1905) being controlled such that the charge density at the edge part (B) of the scanning region is greater than the charge density at the center part (A) of the scanning region when scanning is performed with the first beam. Thus, a scanning electron microscope wherein an electric potential gradient given by a preliminary charge is controlled without changing the lens conditions can be provided.
(FR)La présente invention concerne un microscope électronique à balayage pourvu d'une fonction permettant de balayer un échantillon au moyen d'un premier faisceau formant une charge préliminaire sur une surface de l'échantillon (1909) pour une détection très efficace des électrons (1910) libérés depuis le fond du trou de contact ou similaire, et de le balayer ensuite au moyen d'un second faisceau pour observer l'échantillon. Le microscope électronique à balayage est caractérisé par des déflecteurs de balayage (1905) commandés de telle sorte que la densité de charge au niveau de la partie de bord (B) de la zone de balayage soit supérieure à la densité de charge au niveau de la partie centrale (A) de la zone de balayage, lorsque le balayage est effectué au moyen du premier faisceau. Ainsi, un microscope électronique à balayage dans lequel un gradient de potentiel électrique donné par une charge préliminaire est commandé sans modification des conditions de lentille peut être fourni.
(JA)本発明は、コンタクトホールの底等から放出される電子(1910)を高効率に検出するために、試料(1909)表面を予備帯電させる第1のビームを試料上に走査した後に、前記試料を観察するための第2のビームを走査する機能を備えた走査電子顕微鏡において、第1のビームを走査する際に、走査領域の縁部(B)の電荷密度が前記走査領域の中心部(A)の電荷密度よりも高くなるように、走査偏向器(1905)を制御することを特徴とする。これにより、レンズ条件を変化させることなく、予備帯電によってもたらされる電位勾配を抑制する走査型電子顕微鏡の提供が可能となった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)