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1. (WO2012099907) IMPROVING TOOL PERFORMANCE BY LINKING SPECTROSCOPIC INFORMATION WITH TOOL OPERATIONAL PARAMETERS AND MATERIAL MEASUREMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099907    International Application No.:    PCT/US2012/021614
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 17.01.2012
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; Akasaka Biz Tower 3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-6325 (JP) (For All Designated States Except US).
KAUSHAL, Sanjeev [IN/US]; (US) (For US Only).
PATEL, Sukesh Janubhai [US/US]; (US) (For US Only).
SUGISHIMA, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAUSHAL, Sanjeev; (US).
PATEL, Sukesh Janubhai; (US).
SUGISHIMA, Kenji; (JP)
Agent: WATSON, Thomas E.; Turocy & Watson, LLP 127 Public Square, 57th Fl. Key Tower Cleveland, Ohio 44114 (US)
Priority Data:
13/009,685 19.01.2011 US
Title (EN) IMPROVING TOOL PERFORMANCE BY LINKING SPECTROSCOPIC INFORMATION WITH TOOL OPERATIONAL PARAMETERS AND MATERIAL MEASUREMENTS
(FR) AMÉLIORATION DES PERFORMANCES D'OUTILS EN RELIANT DES INFORMATIONS SPECTROSCOPIQUES À DES PARAMÈTRES OPÉRATIONNELS D'OUTILS ET À DES MESURES DE MATÉRIAU
Abstract: front page image
(EN)System(s) and method(s) are provided for adjustment and analysis of performance of a tool through integration of tool operational data and spectroscopic data related to the tool. Such integration results in consolidated data that enable, in part, learning at least one relationship amongst selected portions of the consolidated data. Learning is performed autonomously without human intervention. Adjustment of performance of the tool relies at least in part on a learned relationship and includes generation of process recipe parameter(s) that can adjust a manufacturing process in order to produce a satisfactory tool performance in response to implementation of the manufacturing process. A process recipe parameter can be generated by solving an inverse problem based on the learned relationship. Analysis of performance of the tool can include assessment of synthetic performance scenarios, identification of spectroscopic condition(s) that affect performance, and extraction of endpoints based at least on time dependence spectroscopic data.
(FR)L'invention concerne un ou plusieurs systèmes et procédés de réglage et d'analyse des performances d'un outil par l'intégration de données opérationnelles d'outil et de données spectroscopiques liées à l'outil. Ladite intégration engendre des données agrégées qui contribuent à l'apprentissage d'au moins une relation entre des parties choisies des données agrégées. L'apprentissage est effectué en autonomie, sans intervention humaine. Le réglage des performances de l'outil s'appuie au moins en partie sur une relation apprise et comprend la génération d'un ou plusieurs paramètres de recette de processus, susceptible de régler un processus de fabrication afin de produire des performances satisfaisantes de l'outil en réaction à la mise en œuvre du processus de fabrication. Un paramètre de recette de processus peut être généré en résolvant un problème inverse sur la base de la relation apprise. L'analyse des performances de l'outil peut comprendre une évaluation de scénarios de performances synthétiques, l'identification de conditions spectroscopiques affectant les performances, et l'extraction de points d'extrémité en se basant au moins sur des données spectroscopiques de dépendance par rapport au temps.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)