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1. (WO2012099817) METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING ULTRAPURE WATER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099817    International Application No.:    PCT/US2012/021424
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 16.01.2012
IPC:
C02F 1/00 (2006.01)
Applicants: SIEMENS WATER TECHNOLOGIES LLC [US/US]; 4800 North Point Parkway, Suite 250 Alpharetta, GA 30022 (US) (For All Designated States Except US).
COULTER, Bruce Lee [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: COULTER, Bruce Lee; (US)
Agent: WILKINS, Frederick C.; Siemens Corporation- Intellectual Property Dept. 170 Wood Avenue South Iselin, New Jersey 08830 (US)
Priority Data:
13/007,932 17.01.2011 US
13/007,940 17.01.2011 US
13/007,946 17.01.2011 US
13/007,949 17.01.2011 US
13/007,953 17.01.2011 US
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING ULTRAPURE WATER
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME PERMETTANT DE FOURNIR UNE EAU ULTRA PURE
Abstract: front page image
(EN)A method and system of providing ultrapure water for semiconductor fabrication operations is provided. The water is treated by utilizing a free radical scavenging system and a free radical removal system. The free radical scavenging system can utilize actinic radiation with a free radical precursor compound, such as ammonium persulfate. The free radical removal system can comprise use of a reducing agent. The ultrapure water may be further treated by utilizing ion exchange media and degasification apparatus. A control system can be utilized to regulate addition of the precursor compound, the intensity of the actinic radiation, and addition of the reducing agent to the water.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système permettant de fournir de l'eau ultra pure pour des opérations de fabrication de semi-conducteurs. L'eau est traitée en utilisant un système de désactivation des radicaux libres et un système d'élimination des radicaux libres. Le système de désactivation des radicaux libres peut utiliser la radiation actinique par un composé précurseur des radicaux libres, par exemple du persulfate d'ammonium. Le système d'élimination des radicaux libres peut utiliser un agent de réduction. L'eau ultra pure peut par ailleurs être traitée en utilisant des agents d'échange d'ions et des appareils de dégazage. Un système de commande peut être utilisé pour réguler l'addition du composé précurseur, l'intensité de la radiation actinique, et l'addition de l'agent de réduction.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)