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1. (WO2012099547) METHOD FOR A DYNAMIC CONTROL OF DENSITY OF NEUTRAL ATOMS IN A PLASMA VACUUM CHAMBER AND A DEVICE FOR THE PROCESSING OF SOLID MATERIALS BY USING THIS METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099547    International Application No.:    PCT/SI2012/000001
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 16.01.2012
IPC:
C23C 16/52 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: INSTITUT "JOŽEF STEFAN" [SI/SI]; Jamova 39 1000 Ljubljana (SI) (For All Designated States Except US).
MOZETIČ Miran [SI/SI]; (SI) (For US Only).
PRIMC Gregor [SI/SI]; (SI) (For US Only)
Inventors: MOZETIČ Miran; (SI).
PRIMC Gregor; (SI)
Agent: ITEM d.o.o.; Resljeva 16 1000 Ljubljana (SI)
Priority Data:
P-201100023 19.01.2011 SI
Title (EN) METHOD FOR A DYNAMIC CONTROL OF DENSITY OF NEUTRAL ATOMS IN A PLASMA VACUUM CHAMBER AND A DEVICE FOR THE PROCESSING OF SOLID MATERIALS BY USING THIS METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DYNAMIQUE DE LA DENSITÉ D'ATOMES NEUTRES DANS UNE CHAMBRE À VIDE DE PLASMA, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE MATIÈRES SOLIDES PAR LEDIT PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN)The subject of the invention is a method for a dynamic control of density of neutral atoms with an active element in a plasma vacuum chamber (4) and a device for the processing of solid materials by using said method. A control system receives input data (17 and 18) through measurements and recordings of density of neutral oxygen, nitrogen or hydrogen atoms, on the basis of which it generates control signals for the adjustment or control of the position of the active element (20), with a huge coefficient for heterogeneous surface recombination of oxygen, nitrogen or hydrogen atoms, with a suitable motor (21). The system gathers the density of neutral oxygen, nitrogen or hydrogen atoms with various methods, like catalytic probe (22), optical emission spectroscopy (23 and 24), optical absorption spectroscopy and titration. Such control provides both for a dynamic control of density of neutral atoms in the environment of a processed sample, i. e. a workpiece, regardless of discharge parameters and for an active change in the density of neutral atoms in the presence of absence of a workpiece regardless of discharge parameters.
(FR)L'invention a pour objet un procédé de commande dynamique de la densité d'atomes neutres ayant un élément actif dans une chambre à vide (4) de plasma, et un dispositif de traitement de matières solides par ledit procédé. Un système de commande reçoit des données d'entrée (17 et 18) résultant de mesures et d'enregistrements de la densité d'atomes neutres d'oxygène, d'azote ou d'hydrogène, sur la base desquelles il génère des signaux de commande pour ajuster ou commander la position de l'élément actif (20), à un coefficient de recombinaison de surface hétérogène élevé des atomes d'oxygène, d'azote ou d'hydrogène, avec un moteur approprié (21). Le système collecte les données de densité d'atomes neutres d'oxygène, d'azote ou d'hydrogène par différents procédés, par exemple sonde catalytique, spectroscopie d'émission optique (23 et 24) spectroscopie d'absorption optique et titration. Cette commande assure à la fois une commande dynamique de la densité d'atomes neutres dans l'environnement d'un échantillon à traiter, par exemple une pièce, indépendamment des paramètres de décharge, et une modification active de la densité d'atomes neutres en présence ou en absence de la pièce indépendamment des paramètres de décharge.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)