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1. (WO2012099190) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND IMAGE ANALYSIS DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099190    International Application No.:    PCT/JP2012/051044
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 19.01.2012
IPC:
H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
SHIRAI Masumi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOMURO Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHIRAI Masumi; (JP).
KOMURO Osamu; (JP)
Agent: ASAMURA PATENT OFFICE, p.c.; Tennoz Central Tower, 2-2-24 Higashi-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 1408776 (JP)
Priority Data:
2011-010351 21.01.2011 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND IMAGE ANALYSIS DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET DISPOSITIF D'ANALYSE D'IMAGES
(JA) 荷電粒子線装置、及び画像解析装置
Abstract: front page image
(EN)In order to enable an SEM image to be used to easily and accurately identify the cause when faults are generated in an SEM image due to the effects of vibrations, a magnetic field, or similar, inside or from the outside of a scanning electron microscope, and also in order to provide a measurement method in which the measurement accuracy is not influenced by the pattern roughness of the SEM image: when acquiring an SEM image, by making the scanning gain in the Y direction zero, one dimensional scanning is carried out in the scanning line direction (X direction), and by chronologically arranging, in the Y direction, the image information acquired by means of the scan, a two-dimensional image is formed. The displacement data of the two-dimensional image is acquired by means of a correlation function, and the magnetic field or vibrations, etcetera, included in the image can be measured by carrying out a frequency analysis of the data.
(FR)Selon l'invention, afin de pouvoir utiliser une image de MEB pour identifier facilement et précisément la cause lorsque des défauts apparaissent dans une image de MEB en raison des effets de vibrations, d'un champ magnétique ou autre, à l'intérieur ou à l'extérieur du microscope électronique à balayage, et afin de fournir également un procédé de mesure dans lequel la grossièreté du motif de l'image de MEB n'a pas d'incidence sur la précision de la mesure: lors de l'acquisition de l'image de MEB, en mettant le gain de balayage dans la direction Y à zéro, un balayage unidimensionnel est effectué dans la direction de la ligne de balayage (direction X) et en disposant chronologiquement, dans la direction Y, les informations d'image obtenues dans le balayage, une image bidimensionnelle est formée. Les données de déplacement de l'image bidimensionnelle sont obtenues à l'aide d'une fonction de corrélation et le champ magnétique, les vibrations, etc. qui sont présents dans l'image peuvent être mesurés en effectuant une analyse fréquentielle des données.
(JA) 走査電子顕微鏡において、装置内及び装置外からの磁場や振動などの影響により、SEM画像に障害が発生した場合、そのSEM画像を用いて簡単に精度よく原因を特定することを目的とする。また、SEM画像のパターンのラフネスに計測精度が影響されない測定手法を目的とする。SEM画像取得時にY方向の走査ゲインをゼロにすることで、走査線方向(X方向)に一次元走査を行うと共に、当該走査によって得られる画像情報を、Y方向に時系列的に配列することで、二次元画像を作成する。相関関数により、当該二次元画像のずれ量データを取得し、当該データを周波数解析することで画像中に含まれる磁場や振動などを測定する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)