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Pub. No.:    WO/2012/099112    International Application No.:    PCT/JP2012/050831
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 17.01.2012
G02B 26/10 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (For All Designated States Except US).
KAMIYA, Yoshitaka [JP/JP]; (For US Only).
SAKATA, Yoshitaka [JP/JP]; (For US Only)
Inventors: KAMIYA, Yoshitaka; .
SAKATA, Yoshitaka;
Agent: KURATA, Masatoshi; c/o SUZUYE & SUZUYE, 1-12-9, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2011-010664 21.01.2011 JP
2011-187579 30.08.2011 JP
(JA) 光偏向器
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides an optical deflector which has improved the durability of a movable part with respect to the load in the direction orthogonal to a mirror surface without impairing drive sensitivity. The optical deflector (100) is provided with a mirror unit (110) and an electrode substrate (140). The mirror unit (110) is provided with a movable part (112), a pair of compound torsion bars (114) and a pair of fixed parts (116). The pair of compound torsion bars (114) mechanically connects the movable part (112) with the fixed parts (116) such that the movable part (112) can be rotationally displaced around a rotational axis (118) or can have a tilt with respect to the fixed parts (116). Each compound torsion bar (114) is constituted by a plurality of torsion bars extending in parallel with the rotational axis (118) and a plurality of coupling bars mutually coupling one end of each pair of adjoining torsion bars. The plurality of torsion bars has higher torsional rigidity in the part distant from the rotational axis (118) than in the part near to the rotational axis (118).
(FR)La présente invention se rapporte à un déflecteur optique possédant une meilleure durabilité d'une partie mobile par rapport à la charge dans la direction orthogonale à une surface de miroir sans diminuer la sensibilité d'entraînement. Le déflecteur optique (100) est pourvu d'une unité à miroirs (110) et d'un substrat d'électrode (140). L'unité à miroirs (110) est pourvue d'une partie mobile (112), d'une paire de barres de torsion complexe (114) et d'une paire de parties fixes (116). La paire de barres de torsion complexe (114) relie mécaniquement la partie mobile (112) aux parties fixes (116) de telle sorte que la partie mobile (112) puisse être déplacée par rotation autour d'un axe de rotation (118) ou puisse avoir une inclinaison par rapport aux parties fixes (116). Chaque barre de torsion complexe (114) comprend une pluralité de barres de torsion qui s'étendent en parallèle avec l'axe de rotation (118), et une pluralité de barres de couplage qui couplent mutuellement une extrémité de chaque paire de barres de torsion voisines. La pluralité de barres de torsion présente une rigidité torsionnelle plus importante dans la partie qui est distante de l'axe de rotation (118) que dans la partie qui se trouve près de l'axe de rotation (118).
(JA) 駆動感度を損なうことなく、ミラー面垂直方向の加重に対する可動部の耐性が向上された光偏向器を提供する。光偏向器(100)は、ミラーユニット(110)と電極基板(140)を備えている。ミラーユニット(110)は、可動部(112)と一対の複合トーションバー(114)と一対の固定部(116)を備えている。一対の複合トーションバー(114)は、可動部(112)が固定部(116)に対して回転軸(118)の周りに回転変位すなわち傾斜し得るように可動部(112)と固定部(116)を機械的に接続している。各複合トーションバー(114)は、回転軸(118)に平行に延びている複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成されている。複数のトーションバーは、回転軸(118)に近いものよりも回転軸(118)から遠いものの方が高いねじり剛性を有している。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)