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1. (WO2012099106) ABNORMALITY DETERMINATION SYSTEM OF PROCESSING DEVICE AND ABNORMALITY DETERMINATION METHOD OF SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099106    International Application No.:    PCT/JP2012/050819
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 17.01.2012
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), G03F 7/30 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
NAKAMURA Naoto [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAGANO Toshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ASAI Ryuji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOZAWA Seiji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAKAMURA Naoto; (JP).
NAGANO Toshihiko; (JP).
ASAI Ryuji; (JP).
KOZAWA Seiji; (JP)
Agent: KATSUNUMA Hirohito; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2011-007712 18.01.2011 JP
Title (EN) ABNORMALITY DETERMINATION SYSTEM OF PROCESSING DEVICE AND ABNORMALITY DETERMINATION METHOD OF SAME
(FR) SYSTÈME DE DÉTERMINATION D'UNE ANOMALIE D'UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UNE ANOMALIE DUDIT SYSTÈME
(JA) 処理装置の異常判定システム及びその異常判定方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is an abnormality determination system provided with: an data collecting unit (22) that collects, from a signal output by a sensor placed in a processing device processing a subject to be processed, time-series data (41) fluctuating over time; a data selection unit (23) that selects, from the time-series data collected by the data collecting unit, only model data (43) serving as useful time-series data; a threshold value set unit (25) that calculates, from the model data selected by the data selection unit, up-and-down fluctuation threshold value data (45) fluctuating over time; and a determination unit (26) that determines occurrence of an abnormality by comparing time-series data serving as a subject to be monitored, which is collected by the data collecting unit, with the up-and-down fluctuation threshold value data. The selection of the model data of the data selection unit is performed on the basis of the evaluation result of an inspection device (37) evaluating the processing of the subject to be processed by the processing device after the subject to be processed is processed by the processing device, for example.
(FR)La présente invention concerne un système de détermination d'une anomalie comprenant : une unité de collecte de données (22) collectant, à partir d'un signal émis par un capteur placé dans un dispositif de traitement traitant un sujet à traiter, des données de séries chronologiques (41) fluctuant au fil du temps ; une unité de sélection de données (23) sélectionnant uniquement, à partir des données de séries chronologiques collectées par l'unité de collecte de données, les données de modèle (43) servant de données de séries chronologiques utiles ; une unité de réglage de valeur seuil (25) calculant, à partir des données de modèle sélectionnées par l'unité de sélection de données, des données de valeur seuil de fluctuation croissante et décroissante (45) fluctuant au fil du temps ; et une unité de détermination (26) déterminant l'occurrence d'une anomalie par comparaison des données de séries chronologiques servant de sujet à surveiller, collectées par l'unité de collecte de données, aux données de valeur seuil de fluctuation croissante et décroissante. La sélection des données de modèle de l'unité de sélection de données est effectuée sur la base du résultat d'évaluation d'un dispositif d'inspection (37) évaluant le traitement du sujet à traiter par le dispositif de traitement une fois que le sujet à traiter a été traité par le dispositif de traitement, par exemple.
(JA) 異常判定システムは、被処理体を処理する処理装置に設置されるセンサによって出力される信号から、時間と共に変動する時系列データ(41)を収集するデータ収集部(22)と、データ収集部が収集した時系列データから、有用な時系列データであるモデルデータ(43)のみを選択するデータ選択部(23)と、データ選択部が選択したモデルデータから、時間と共に変動する上下変動閾値データ(45)を算出する閾値設定部(25)と、データ収集部が収集した監視対象の時系列データを、上下変動閾値データと比較することにより、異常の発生を判定する判定部(26)と、を具備する。データ選択部のモデルデータの選択は、例えば処理装置によって被処理体を処理した後に、処理装置による被処理体の処理を評価する検査装置(37)の評価結果に基づいて行う。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)