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1. (WO2012099084) MEMS MODULE, VARIABLE REACTANCE CIRCUIT AND ANTENNA DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/099084    International Application No.:    PCT/JP2012/050766
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 17.01.2012
IPC:
H01Q 1/50 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H01Q 21/30 (2006.01), H04B 1/04 (2006.01)
Applicants: Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (For All Designated States Except US).
KAWAHATA Kazunari [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIDA Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIKAWA Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAWATE Toshiya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAWAHATA Kazunari; (JP).
NISHIDA Hiroshi; (JP).
NISHIKAWA Hiroshi; (JP).
KAWATE Toshiya; (JP)
Agent: Kaede Patent Attorneys' Office; 1-4-34, Noninbashi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400011 (JP)
Priority Data:
2011-008342 19.01.2011 JP
Title (EN) MEMS MODULE, VARIABLE REACTANCE CIRCUIT AND ANTENNA DEVICE
(FR) MODULE MEMS, CIRCUIT À RÉACTANCE VARIABLE ET DISPOSITIF À ANTENNE
(JA) MEMSモジュール、可変リアクタンス回路及びアンテナ装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a MEMS module (10) which comprises a MEMS element (14) including a first displacement enabled capacitor electrode (21), a second capacitor electrode (22) opposing the first capacitor electrode (21), and drive electrodes (23A, 23B) that displace the first capacitor electrode (21), wherein the drive electrodes (23A, 23B) are connected to a control unit that applies a drive voltage to the drive electrodes (23A, 23B), and to monitor terminals (30,31) that detect electric power. Hereby, an element for monitoring electric power becomes unnecessary, and a MEMS module, a variable reactance circuit, and an antenna device capable of achieving a smaller size and a lower loss are provided.
(FR)La présente invention concerne un module MEMS (10) comprenant un élément MEMS (14) comprenant une première électrode de condensateur à déplacement (21), une seconde électrode de condensateur (22) opposée à la première électrode de condensateur (21), et des électrodes d'excitation (23A, 23B) déplaçant la première électrode de condensateur (21), les électrodes d'entraînement (23A, 23B) étant connectées à une unité de commande appliquant une tension d'excitation aux électrodes d'excitation (23A, 23B), et à des bornes de surveillance (30,31) détectant un courant électrique. Un élément destiné à surveiller le courant électrique devient donc inutile, et un module MEMS, un circuit à réactance variable et un dispositif à antenne pouvant présenter une taille plus petite et moins de perte sont fournis.
(JA)変位可能である第1の容量電極(21)と、第1の容量電極(21)と対向している第2の容量電極(22)と、第1の容量電極(21)を変位させる駆動電極(23A,23B)とを有するMEMS素子(14)を備え、駆動電極(23A,23B)は、駆動電極(23A,23B)に駆動電圧を印加する制御部と、電力を検出するモニタ端子(30,31)とに接続されている、MEMSモジュール(10)とする。これにより、電力をモニタリングするための素子を不必要とし、小型化及び低損失化を実現できるMEMSモジュール、可変リアクタンス回路及びアンテナ装置を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)