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1. (WO2012098879) RESISTANCE CHANGE ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/098879    International Application No.:    PCT/JP2012/000287
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 18.01.2012
Chapter 2 Demand Filed:    13.06.2012    
IPC:
H01L 27/105 (2006.01), H01L 45/00 (2006.01), H01L 49/00 (2006.01)
Applicants: PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (For All Designated States Except US).
WEI, Zhiqiang; (For US Only).
TAKAGI, Takeshi; (For US Only).
MITANI, Satoru; (For US Only).
KAWASHIMA, Yoshio; (For US Only).
TAKAHASHI, Ichirou; (For US Only)
Inventors: WEI, Zhiqiang; .
TAKAGI, Takeshi; .
MITANI, Satoru; .
KAWASHIMA, Yoshio; .
TAKAHASHI, Ichirou;
Agent: NII, Hiromori; c/o NII Patent Firm, 6F, Tanaka Ito Pia Shin-Osaka Bldg.,3-10, Nishi Nakajima 5-chome, Yodogawa-ku, Osaka-city, Osaka 5320011 (JP)
Priority Data:
2011-010122 20.01.2011 JP
Title (EN) RESISTANCE CHANGE ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) ÉLÉMENT À CHANGEMENT DE RÉSISTANCE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
(JA) 抵抗変化素子およびその製造方法
Abstract: front page image
(EN)A resistance change element has a first electrode (107), a second electrode (105), and a resistance change layer (106) provided interposed between the first and second electrodes (107, 105) so as to be in contact with the first and second electrodes (107, 105) and in which a resistance value reversibly changes on the basis of an applied electrical signal. The resistance change layer (106) is constituted by a layered structure of a first resistance change layer (106b) constituted by a first oxygen-deficient metal oxide, and a second resistance change layer (106a) constituted by a second transition metal oxide in which the degree of oxygen deficiency is lower than the degree of oxygen deficiency in the first resistance change layer (106b). The second electrode (105) has just one needle-shaped section at the interface with the second resistance change layer (106a), and the second resistance change layer (106a) is provided between the first resistance change layer (106b) and the second electrode (105) so as to be in contact with the first resistance change layer (106b) and the second electrode (105) and so as to cover the needle-shaped section.
(FR)La présente invention concerne un élément à changement de résistance, comprenant une première électrode (107), une seconde électrode (105), et une couche à changement de résistance (106) disposée entre la première électrode (107) et la seconde électrode (105) de façon à se trouver en contact avec la première électrode (107) et la seconde électrode (105), et dans laquelle une valeur de résistance change de manière réversible sur application d'un signal électrique. La couche à changement de résistance (106) est constituée à l'aide d'une structure stratifiée composée d'une première couche à changement de résistance (106b), constituée d'un premier oxyde métallique pauvre en oxygène, et d'une seconde couche à changement de résistance (106a), constituée d'un second oxyde de métal de transition dans lequel la quantité d'oxygène manquante est inférieure à la quantité d'oxygène manquante dans la première couche à changement de résistance (106b). La seconde électrode (105) a juste une section en forme d'aiguille au niveau de l'interface avec la seconde couche à changement de résistance (106a), et la seconde couche à changement de résistance (106a) est disposée entre la première couche à changement de résistance (106b) et la seconde électrode (105) de façon à se trouver en contact avec la première couche à changement de résistance (106b) et la seconde électrode (105), et de façon à recouvrir la section en forme d'aiguille.
(JA) 第1の電極(107)と、第2の電極(105)と、第1、第2の電極(107、105)間に介在して第1、第2の電極(107、105)と接するように設けられており、与えられる電気的信号に基づいて抵抗値が可逆的に変化する抵抗変化層(106)とを有する抵抗変化素子であって、抵抗変化層(106)は、酸素不足型の第1の金属酸化物で構成された第1の抵抗変化層(106b)と、酸素不足度が第1の抵抗変化層(106b)の酸素不足度よりも小さい第2の遷移金属酸化物で構成された第2の抵抗変化層(106a)との積層構造で構成され、第2の電極(105)は第2の抵抗変化層(106a)との界面にただ1つの針状部を有し、第2の抵抗変化層(106a)は、第1の抵抗変化層(106b)と第2の電極(105)との間に介在して第1の抵抗変化層(106b)と第2の電極(105)とに接しかつ前記針状部を覆うように設けられている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)