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1. (WO2012098871) VACUUM PROCESSING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/098871    International Application No.:    PCT/JP2012/000271
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 18.01.2012
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
WAKABAYASHI, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOBAYASHI, Sensho [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: WAKABAYASHI, Shinji; (JP).
KOBAYASHI, Sensho; (JP)
Agent: SASAKI, Seikoh; SASAKI & ASSOCIATES, 303 Surugadai Saikachizaka Building, 2-11-16, Kanda-surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Priority Data:
2011-009859 20.01.2011 JP
Title (EN) VACUUM PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
(JA) 真空処理装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To improve the conveyance efficiency and throughput of a vacuum conveying system containing a plurality of vacuum conveying mechanisms. [Solution] In this vacuum processing apparatus, four process modules (PM1, PM2, PM3, PM4) and four load-lock modules (LML1, LML2, LMU1, LMU2) are arranged in clusters around a two-stage vacuum conveyance chamber (10). In the apparatus, the entirety of the second stage of the vacuum conveyance chamber (10) is a third vacuum conveyance area (TE3) and the third vacuum conveyance area extends from the second stage to the first stage through an aperture (13) to enter between first and second vacuum conveyance areas (TE1, TE2). A third vacuum conveyance robot (34) has: left- and right-side conveyance units (HR1, HR2), which can move straight in the depth direction (X direction) in the second stage of the third vacuum conveyance area (TE3); and left- and right-side conveyance units (VR1, VR2), which can move straight in the vertical direction (Z direction), i.e. can move up and down, in the aperture (13) of the third vacuum conveyance area (TE3).
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention consiste à améliorer l'efficacité de transport et le rendement d'un système de transport sous vide qui contient une pluralité de mécanismes de transport sous vide. La solution proposée consiste à un appareil de traitement sous vide qui comprend quatre modules de traitement (PM1, PM2, PM3, PM4) et quatre modules de sas de chargement (LML1, LML2, LMU1, LMU2) qui sont agencés en grappes autour d'une chambre de transport sous vide à deux étages (10). Dans l'appareil, tout le haut de la chambre de transport sous vide (10) constitue une troisième zone de transport sous vide (TE3) et la troisième zone de transport sous vide s'étend depuis le haut jusqu'en bas à travers une ouverture (13) pour entrer entre les première et deuxième zones de transport sous vide (TE1, TE2). Un troisième robot de transport sous vide (34) comprend : des unités de transport horizontal (HR1, HR2) sur les côtés droit et gauche qui peuvent se déplacer en ligne droite dans le sens de la profondeur (la direction X) dans la partie du haut de la troisième zone de transport sous vide (TE3) ; ainsi que des unités de transport en élévation (VR1, VR2) sur les côtés droit et gauche qui peuvent se déplacer en ligne droite dans la direction verticale (la direction Z) dans l'ouverture (13) de la troisième zone de transport sous vide (TE3) et qui peuvent donc se déplacer vers le haut et vers le bas.
(JA)【課題】複数の真空搬送機構を有する真空搬送系の搬送効率およびスループットを向上させること。 【解決手段】この真空処理装置は、2階建の真空搬送室(10)の周囲に4つのプロセス・モジュール(PM,PM,PM,PM)および4つのロードロック・モジュール(LML1,LML2,LMU1,LMU2)をクラスタ状に配置している。ここで、真空搬送室(10)の2階は全て第3の真空搬送エリア(TE)になっており、開口部(13)を通って第3の真空搬送エリア(TE)が2階から1階に下りて第1および第2の真空搬送エリア(TE,TE)の間に割り込んでいる。第3の真空搬送ロボット(34)は、第3の真空搬送エリア(TE)の2階部分で奥行き方向(X方向)に直進移動可能な左側および右側の水平搬送部(HR,HR)と、第3の真空搬送エリア(TE)の開口部(13)で鉛直方向(Z方向)に直進移動つまり昇降可能な左側および右側の昇降搬送部(VR,VR)とを有している。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)