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1. (WO2012098758) SENSING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/098758    International Application No.:    PCT/JP2011/076229
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 15.11.2011
IPC:
G01N 21/27 (2006.01)
Applicants: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology [JP/JP]; 3-1,Kasumigaseki 1-chome,Chiyoda-ku Tokyo 1008921 (JP) (For All Designated States Except US).
Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd. [JP/JP]; 6-1,Ohtemachi 2-chome,Chiyoda-ku Tokyo 1000004 (JP) (For All Designated States Except US).
FUJIMAKI Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AKIYAMA Shoji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAGATA Kazutoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUJIMAKI Makoto; (JP).
AKIYAMA Shoji; (JP).
NAGATA Kazutoshi; (JP)
Agent: SHIODA Shin; Hometown patent office,Wako Building 201,10-14,Takezono 2-chome,Tsukuba-shi Ibaraki 3050032 (JP)
Priority Data:
2011-009775 20.01.2011 JP
Title (EN) SENSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION
(JA) 検出装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a small-sized, stable, and highly sensitive sensing device by achieving an optical system that is most suitable for an optical waveguide mode sensor that uses a wavelength resolution type measurement method. [Solution] A sensing device which comprises: a sensing plate wherein a silicon layer and a silicon oxide layer are sequentially arranged in this order on a silica glass substrate; an optical prism that is optically adhered to the silica glass substrate-side surface of the sensing plate; a light irradiation means which irradiates the sensing plate with light through the optical prism and which is arranged so that the light incidence angle is fixed with respect to the optical prism; and an optical sensing means which senses the intensity of light reflected by the sensing plate. The sensing device senses a change in the dielectric constant near the surface of the silicon oxide layer of the sensing plate by sensing a characteristic change of the reflected light. The sensing device is characterized in that the angle between the incident surface of the optical prism, on which the light irradiated from the light irradiation means is incident, and the adhesion surface, at which the optical prism is adhered to the sensing plate, is 43˚ or less.
(FR)L'invention concerne un dispositif de détection de petite taille, stable et très sensible. Le dispositif de détection comprend : une plaque de détection constituée, dans cet ordre, d'une couche de silicium et d'une couche d'oxyde de silicium sur un substrat en verre de silice ; un prisme optique qui est optiquement fixé à la surface de la plaque de détection du côté du substrat en verre de silice ; un moyen d'irradiation de lumière qui irradie la plaque de détection avec une lumière à travers le prisme optique et qui est disposé de manière à ce que l'angle d'incidence de la lumière soit fixe par rapport au prisme optique ; et un moyen de détection optique qui détecte l'intensité de la lumière réfléchie par la plaque de détection. Le dispositif de détection détecte un changement de constante diélectrique à proximité de la surface de la couche d'oxyde de silicium de la plaque de détection par la détection d'un changement caractéristique de la lumière réfléchie. Le dispositif de détection est caractérisé en ce que l'angle entre la surface incidente du prisme optique, sur laquelle la lumière irradiée à partir du moyen d'irradiation de lumière est incidente, et la surface d'adhérence, où le prisme optique est fixé à la plaque de détection, est inférieur ou égal à 43°. Ce système optique est parfaitement approprié pour un capteur à guide d'onde optique qui utilise un procédé de mesure par résolution de longueur d'onde.
(JA)【課題】波長分解型測定法を用いた光導波モードセンサーに最適な光学系を実現し、小型で、安定的かつ高感度な検出装置を提供すること。 【解決手段】シリカガラス基板上にシリコン層と酸化シリコン層とがこの順で配される検出板と、前記検出板の前記シリカガラス基板側に光学的に密着される光学プリズムと、前記光学プリズムを介して前記検出板に光を照射し、前記光学プリズムに対して光の入射角が固定されて配される光照射手段と、前記検出板から反射される反射光の強度を検出する光検出手段とを有し、前記反射光の特性変化を検出することにより、前記検出板の前記酸化シリコン層の表面近傍における誘電率の変化を検出する検出装置であって、前記光学プリズムは、前記光照射手段から照射される光が入射される入射面と、前記検出板に密着される密着面とのなす角の角度が43°以下であることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)