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1. (WO2012098730) LIQUID VAPORIZER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/098730    International Application No.:    PCT/JP2011/069960
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 01.09.2011
B01J 7/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250,Ouji 2-chome,Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP) (For All Designated States Except US).
KOUKETSU, Masayuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITAFUJI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOUKETSU, Masayuki; (JP).
ITAFUJI, Hiroshi; (JP)
Agent: YAMADA, Tsuyoshi; Daiichi Hasegawa Bldg.6F 3-24, Meieki 3-chome Nakamura-ku, Nagoya-shi Aichi 4500002 (JP)
Priority Data:
2011-009193 19.01.2011 JP
(JA) 液体気化器
Abstract: front page image
(EN)The invention provides a liquid vaporizer (100) that vaporizes a chemical solution supplied from a chemical solution supply port and mixes same into a gaseous medium. The liquid vaporizer (100) is provided with a main vaporizer body (110) having a mixed gas-generating space (116), and a vaporizing part (120) disposed inside the mixed gas-generating space (116). The vaporizing part (120) has a main vaporizing part body (121) whereon a vaporization surface (87) is formed and a reticular body (69) formed as a sheet by weaving wires evenly into a mesh. The reticular body (69) forms multiple mesh spaces that are spaces surrounded by the wires and are disposed in a regular pattern in the plane of the reticular body (69). The vaporizing part (120) forms multiple chemical solution-supplying spaces that are spaces surrounded by the wires and the vaporization surface (87) as a result of the reticular body (69) and the vaporization surface (87) contacting each other and that are disposed in a regular pattern in the plane of the reticular body (69).
(FR)Cette invention concerne un vaporisateur de liquide (100) qui vaporise une solution chimique introduite depuis un orifice d'admission de solution chimique et l'incorpore par mélange dans un milieu gazeux. Le vaporisateur de liquide (100) comprend un corps de vaporisateur principal (110) comportant un espace génération de mélange gazeux (116), et une partie vaporisation (120) qui se trouve à l'intérieur dudit espace génération de mélange gazeux (116). La partie vaporisation (120) comprend un corps principal de partie vaporisation (121) sur lequel une surface de vaporisation (87) est formée et un corps réticulaire (69) sous la forme d'une feuille obtenue par tissage régulier de fils de manière à former un treillis. Le corps réticulaire (69) définit de multiples espaces de treillis qui sont des espaces entourés par les fils et qui sont agencés selon un motif régulier dans le plan du corps réticulaire (69). La partie vaporisation (120) forme de multiples espaces pour l'introduction de solutions chimiques qui sont des espaces entourés par les fils et la surface de vaporisation (87) résultant du contact entre le corps réticulaire (69) et la surface de vaporisation l'un avec l'autre et qui sont agencés selon un motif régulier dans le plan du corps réticulaire (69).
(JA) 本発明は、薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器100を提供する。液体気化器100は、混合ガス生成空間116を有する気化器本体110と、混合ガス生成空間116の内部に配置された気化部120と、を備える。気化部120は、気化面87が形成されている気化部120本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体69とを有する。網状体69は、線材によって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、気化部120は、網状体69と気化面87とが相互に当接することによって線材と気化面87とによって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)