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1. (WO2012097972) PLASMA TREATMENT DEVICE FOR PRODUCING COATINGS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2012/097972 International Application No.: PCT/EP2012/000162
Publication Date: 26.07.2012 International Filing Date: 17.01.2012
Chapter 2 Demand Filed: 07.08.2012
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,B05D 3/14 (2006.01) ,C23C 16/04 (2006.01)
Applicants: BICKER, Matthias[DE/DE]; DE (UsOnly)
LOHMEYER, Manfred[DE/DE]; DE (UsOnly)
BAUCH, Hartmut[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHOTT AG[DE/DE]; Hattenbergstr. 10 55122 Mainz, DE (AllExceptUS)
Inventors: BICKER, Matthias; DE
LOHMEYER, Manfred; DE
BAUCH, Hartmut; DE
Agent: SCHMIDT, Oliver; Blumbach - Zinngrebe Alexandrastrasse 5 65187 Wiesbaden, DE
Priority Data:
10 2011 009 057.620.01.2011DE
Title (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE FOR PRODUCING COATINGS
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PLASMA POUR LA FABRICATION DE REVÊTEMENTS
(DE) PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON BESCHICHTUNGEN
Abstract: front page image
(EN) The invention relates to a device and a method for treating layers using a plasma zone sealed from the outer atmospheric pressure. Said device comprises a plasma reactor having a substrate carrier in the form of a container receiving device and a closing element that is connected to the substrate carrier by means of a lifting device.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé pour le traitement de couches au moyen d'une zone plasma isolée par rapport à la pression atmosphérique extérieure. Le dispositif comporte un réacteur plasma comprenant un porte-substrat sous forme de dispositif de réception de contenant et un élément de fermeture relié au porte-substrat au moyen d'un dispositif de levage.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Behandlung von Schichten mit einer gegenüber dem äußeren Atmosphärendruck abgeschlossenen Plasma-Zone. Die Vorrichtung umfasst einen Plasma-Reaktor mit einem Substratträger in Gestalt einer Behälteraufnahmevorrichtung und ein Schließelement, das mit dem Substratträger über eine Hubvorrichtung verbunden wird.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)