WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012096571) A METHOD OF MANUFACTURING A PROBE COMPRISING A CANTILEVER WITH A CONDUIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/096571    International Application No.:    PCT/NL2012/000007
Publication Date: 19.07.2012 International Filing Date: 13.01.2012
Chapter 2 Demand Filed:    14.11.2012    
IPC:
B81C 1/00 (2006.01), B01L 3/00 (2006.01)
Applicants: SMARTTIP BV [NL/NL]; Drienerlolaan 5 NL-7522 NB Enschede (NL) (For All Designated States Except US).
SARAJLIC, Edin [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: SARAJLIC, Edin; (NL)
Agent: ALTENBURG, Bernardus Stephanus Franciscus et al; Altenburg Patent P.O. Box 82 NL-4100 AB Culemborg (NL)
Priority Data:
1038521 14.01.2011 NL
1038570 08.02.2011 NL
Title (EN) A METHOD OF MANUFACTURING A PROBE COMPRISING A CANTILEVER WITH A CONDUIT
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE SONDE COMPRENANT UN PORTE-À-FAUX AVEC UN CONDUIT
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a method of manufacturing a probe comprising a cantilever with a conduit. According to the invention, an etchant window is provided in a layer covering an elongated sacrificial conduit core that is to form the conduit. This allows for an etching process where the elongated sacrificial conduit core is etched away before all material of a substrate is etched away, the remaining material of the substrate material making the probe stronger without being in the way during use of the probe.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une sonde comprenant un porte-à-faux avec un conduit. Selon l'invention, une fenêtre d'agent d'attaque chimique est réalisée dans une couche couvrant une partie centrale sacrificielle allongée de conduit qui sert à former le conduit. Ceci permet un processus d'attaque chimique où la partie centrale sacrificielle allongée de conduit est éliminée par attaque avant que tout le matériau d'un substrat soit éliminé par attaque, le matériau restant du matériau de substrat rendant la sonde plus résistante sans être dans le passage durant l'utilisation de la sonde.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)