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Pub. No.:    WO/2012/096033    International Application No.:    PCT/JP2011/071591
Publication Date: 19.07.2012 International Filing Date: 22.09.2011
Chapter 2 Demand Filed:    04.10.2012    
B65G 49/06 (2006.01), B65G 51/03 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: OILES CORPORATION [JP/JP]; 1-6-34, Kounan, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP) (For All Designated States Except US).
OZAWA Hideo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TSUNODA Kouichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YASUDA Takahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IKEDA Toshiyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OZAWA Hideo; (JP).
TSUNODA Kouichi; (JP).
YASUDA Takahiro; (JP).
IKEDA Toshiyuki; (JP)
Agent: NAKAI Jun; #210 Win Shinjuku Wakamatsucho,25-17,Wakamatsucho,Shinjuku-ku, Tokyo 1620056 (JP)
Priority Data:
2011-005481 14.01.2011 JP
(JA) 非接触搬送装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a non-contact transfer apparatus, wherein generation of negative pressure is eliminated, amplitude of an end portion of a subject to be transferred is reduced, floating quantity of the subject is increased, and fluctuation of the floating quantity of the subject is reduced as much as possible even by opening and closing a vacuum suction port. [Solution] A non-contact transfer apparatus (4a) is configured of: an upper plate (9), which is provided with a plurality of housing hole sections and a plurality of suction holes, said housing hole sections and suction holes being alternately disposed in the longitudinal direction and the width direction; a middle plate (10), which is provided with a continuous air supply path that communicates with the housing hole sections in the upper plate, a communicating hole opened to the air supply path, and penetrating holes that communicate with the suction holes by being adjacent to the communicating hole; one air supply port connected to the communicating hole in the middle plate; a transfer rail (8), which is configured of air suction paths that communicate with the penetrating holes in the middle plate, and a lower plate (11) that is provided with vacuum suction ports connected to the air suction paths; and upward flow-forming bodies (6) attached in the housing hole sections. The air suction path formed in the lower plate is divided into two or more blocks in the longitudinal direction, and the air suction path in each block has one of the vacuum suction ports connected thereto.
(FR)L'invention a pour objet de réaliser un appareil de transfert sans contact avec lequel la génération d'une pression négative est éliminée, l'amplitude d'une portion d'extrémité d'un sujet à transférer est réduite, la quantité flottante du sujet est augmentée et la fluctuation de la quantité flottante du sujet est réduite autant que possible, même par l'ouverture et la fermeture d'un orifice d'aspiration par dépression. L'invention concerne un appareil de transfert sans contact (4a) configuré comme suit : une plaque supérieure (9) qui est munie d'une pluralité de sections à trous de logement et d'une pluralité de trous d'aspiration, lesdites sections à trous de logement et trous d'aspiration étant disposées en alternance dans le sens longitudinal et dans le sens de la largeur; une plaque centrale (10) qui est munie d'un trajet continu d'alimentation en air qui communique avec les sections à trous de logement dans la plaque supérieure, un trou de communication ouvert vers le trajet d'alimentation en air et des trous de pénétration qui communiquent avec les trous d'aspiration étant voisins du trou de communication; un orifice d'alimentation en air raccordé au trou de communication dans la plaque centrale; un rail de transfert (8) qui comprend des trajets d'aspiration d'air qui communiquent avec les trous de pénétration dans la plaque centrale, et une plaque inférieure (11) qui est munie d'orifices d'aspiration par dépression reliés aux trajets d'aspiration d'air; et des corps formant un courant ascendant (6) fixés dans les sections à trous de logement. Le trajet d'aspiration d'air formé dans la plaque inférieure est divisé en deux blocs ou plus dans le sens longitudinal et l'un des orifices d'aspiration par dépression est connecté au trajet d'aspiration d'air dans chaque bloc.
(JA)【課題】負圧の発生を防ぎ、被搬送物の端部の振幅を小さくすると共に浮上量を大きくし、真空吸引口の開閉操作によっても被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる非接触搬送装置を提供する。 【解決手段】収容孔部と、吸引孔とを長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板(9)と、上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、空気供給経路に開口する連通孔と、連通孔に隣接し、吸引孔に連通する貫通孔を備えた中板(10)と、中板の連通孔に結合された1つの空気供給口と、中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板(11)とからなる搬送レール(8)と、収容孔部に装着された上昇流形成体(6)とからなり、下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合される非接触搬送装置(4a)。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)