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1. (WO2012095915) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/095915    International Application No.:    PCT/JP2011/006247
Publication Date: 19.07.2012 International Filing Date: 09.11.2011
IPC:
H01J 37/22 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
MIZUOCHI, Masaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NIIBORI, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MIZUOCHI, Masaki; (JP).
NIIBORI, Tetsuya; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2011-005381 14.01.2011 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a charged particle beam device, comprising an optical microscope (26) and a Z sensor (25). A polynomial approximate equation is pre-created of a focus map which denotes dependencies for locations within the face of a wafer (10) of focus values of the optical microscope. During an actual observation, a degree of control, wherein a difference between wafer height information when the focus map is acquired and wafer height information when the actual observation is made is added to the polynomial approximate equation, is inputted as a focus control value of the optical microscope. It is thus possible to carry out the focusing of an optical microscope with good precision while alleviating device cost increases and deterioration of throughput.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif à faisceaux de particules chargées, lequel dispositif comprend un microscope optique (26) et un capteur Z (25). Il est pré-créé une équation approchée polynomiale d'une carte de focalisation qui indique des dépendances vis-à-vis d'emplacements à l'intérieur de la face d'une tranche (10) de valeurs de focalisation du microscope optique. Pendant une observation effective, un degré de commande, dans lequel une différence entre une information de hauteur de tranche quand la carte de focalisation est acquise et une information de hauteur de tranche quand l'observation effective est effectuée est ajoutée à l'équation approchée polynomiale, est entré comme valeur de commande de focalisation du microscope optique. Il est par conséquent possible d'effectuer la focalisation d'un microscope optique avec une bonne précision tout en évitant des augmentations de coût du dispositif et une détérioration du débit.
(JA)本発明は、光学式顕微鏡(26)とZセンサ(25)とを備えた荷電粒子線装置において、予め光学式顕微鏡のフォーカス値のウエハ(10)面内の位置に対する依存性を示すフォーカスマップの多項式近似式を作成し、実際の観察時には、フォーカスマップ取得時のウエハ高さ情報と実際の観察時のウエハ高さ情報との差分を前記多項式近似式に加算した制御量を光学式顕微鏡のフォーカス制御値として入力することを特徴とする。これにより、装置コストの上昇及びスループットの低下を抑えつつ、光学式顕微鏡のフォーカス合わせを精度良く行うことが可能になった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)