WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012093593) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND METHOD FOR CORRECTING DETECTED SIGNAL THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/093593    International Application No.:    PCT/JP2011/079765
Publication Date: 12.07.2012 International Filing Date: 22.12.2011
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
KAMIO Masato [JP/JP]; (JP) (For US Only).
WATANABE Masashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HOSHINO Yoshinobu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAWAMATA Shigeru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAMIO Masato; (JP).
WATANABE Masashi; (JP).
HOSHINO Yoshinobu; (JP).
KAWAMATA Shigeru; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
Priority Data:
2011-000210 04.01.2011 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND METHOD FOR CORRECTING DETECTED SIGNAL THEREOF
(FR) DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULE CHARGÉE ET PROCÉDÉ DESTINÉ À CORRIGER LE SIGNAL DÉTECTÉ DUDIT DISPOSITIF
(JA) 荷電粒子線装置及びその検出信号の補正方法
Abstract: front page image
(EN)This charged particle beam device is provided with: a signal processing function for acquiring a secondary signal obtained when a charged particle beam is scanned at a speed slow enough to be unlimited by a band limitation of an electrical signal path and a secondary signal obtained when a charged particle beam is scanned at a high speed which is limited by the band limitation of the electrical signal path, calculating a degradation function (H-1(s)) between the plurality of secondary signals, and setting an inverse function of the degradation function as a compensation filter; and a function for updating a parameter of the compensation filter to an optimal value as needed or at an arbitrary timing. These functions enable optimal image restoration in the charged particle radiation device even when a detector or an amplifier circuit constituting the electrical signal path deteriorates with age.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de faisceau de particule chargée pourvu : d'une fonction de traitement de signal destinée à acquérir un signal secondaire obtenu lorsqu'un faisceau de particule chargée est balayé à une vitesse suffisamment lente pour ne pas être limitée par une limitation de bande d'un trajet de signal électrique et un signal secondaire obtenu lorsqu'un faisceau de particule chargée est balayé à une vitesse élevée limitée par la limitation de bande du trajet de signal électrique, à calculer une fonction de dégradation (H-1(s)) entre la pluralité de signaux secondaires, et à régler une fonction inverse de la fonction de dégradation en tant que filtre de compensation ; et d'une fonction destinée à mettre à jour un paramètre du filtre de compensation sur une valeur optimale lorsque cela s'avère nécessaire ou à un moment arbitraire. Ces fonctions permettent une restauration optimale de l'image dans le dispositif de rayonnement de particule chargée, y compris lorsqu'un circuit de détection ou d'amplification constituant le trajet de signal électrique se détériore avec l'âge.
(JA) 本発明の荷電粒子線装置は、荷電粒子線を電気信号経路の帯域制限を受けない遅い速度で走査した際に得られる二次信号と電気信号経路の帯域制限を受ける速い速度で走査した際に得られる二次信号とを取得し、前記複数の二次信号間の劣化関数(H-1(s))を算出してその逆関数を補正フィルタとする信号処理機能、及び前記補正フィルタのパラメータを随時又は任意のタイミングで最適な値に更新する機能、を備える。 これにより、荷電粒子線装置において、電気信号経路を構成する検出器や増幅回路が経年劣化した場合にも、最適な画像復元を行うことが可能になった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)