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1. (WO2012093422) METHOD AND APPARATUS FOR SCRIBING SILICON CARBIDE BOARD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/093422    International Application No.:    PCT/JP2011/000061
Publication Date: 12.07.2012 International Filing Date: 07.01.2011
IPC:
B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01)
Applicants: BANDO KIKO CO., LTD. [JP/JP]; 4-60, Kanazawa 2-chome, Tokushima-shi, Tokushima 7700871 (JP) (For All Designated States Except US).
BANDO, Kazuaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: BANDO, Kazuaki; (JP)
Agent: TAKADA, Takeshi; 3rd Floor, Zenkaren Building, 12-4, Minamiaoyama 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1070062 (JP)
Priority Data:
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SCRIBING SILICON CARBIDE BOARD
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR ÉCRIRE SUR UNE PLAQUE DE CARBURE DE SILICIUM
(JA) 炭化珪素板のスクライブ方法及びスクライブ装置
Abstract: front page image
(EN)This apparatus for scribing a silicon carbide board is provided with: a horizontal table (3), which fixes a silicon carbide board (2) by vacuum suction; a feed screw (5) and a Y axis control motor (6), which move the table (3) along guide rails (4, 4) by controlling scribe numerical values; a guide rail device body (7), which is installed in the X axis direction above the table (3); a carriage (8), which is attached such that the carriage moves to the guide rail device body (7) by being guided in the X axis direction; a feed screw and an X axis control motor (9), which move, with numerical control, the carriage (8) in the X axis direction; and a scribe head (10), which is disposed on the carriage (8).
(FR)L'invention porte sur un appareil pour écrire sur une plaque de carbure de silicium, lequel appareil comporte : une table horizontale (3), qui fixe une plaque de carbure de silicium (2) par aspiration par le vide ; une vis d'avance (5) et un moteur de commande d'axe Y (6), qui déplacent la table (3) le long de rails de guidage (4, 4) par commande de valeurs numériques d'écriture ; un corps de dispositif de rail de guidage (7), qui est installé dans la direction d'axe X au-dessus de la table (3) ; un chariot (8), qui est attaché de telle sorte que le chariot se déplace vers le corps de dispositif de rail de guidage (7) en étant guidé dans la direction d'axe X ; une vis d'avance et un moteur de commande d'axe X (9), qui déplacent, avec une commande numérique, le chariot (8) dans la direction d'axe X ; et une tête d'écriture (10), qui est disposée sur le chariot (8).
(JA) 炭化珪素板(2)を真空吸着固定する水平のテーブル(3)と、ガイドレール(4、4)に沿ってテーブル(3)をスクライブ数値制御移動させる送りネジ(5)及びY軸制御モータ(6)と、X軸方向に沿ってテーブル(3)の上方に架設されたガイドレール装置体(7)と、ガイドレール装置体(7)へX軸方向にガイドされて移動するように取付けられたキャリッジ(8)と、キャリッジ(8)をX軸方向に数値制御移動させる送りネジ及びX軸制御モータ(9)と、キャリッジ(8)に装置されたスクライブヘッド(10)とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)