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1. (WO2012091830) VACUUM VALVE WITH PROTECTED SEALING SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/091830    International Application No.:    PCT/US2011/062238
Publication Date: 05.07.2012 International Filing Date: 28.11.2011
IPC:
F16K 3/20 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US) (For All Designated States Except US).
BORICHEVSKY, Steven C. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BORICHEVSKY, Steven C.; (US)
Agent: LUCEK, Nathaniel; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US)
Priority Data:
12/982,754 30.12.2010 US
Title (EN) VACUUM VALVE WITH PROTECTED SEALING SURFACE
(FR) CLAPET DE DÉPRESSION À SURFACE D'ÉTANCHÉITÉ PROTÉGÉE
Abstract: front page image
(EN)A valve assembly (200) disposed within a vacuum environment which is configured to protect the sealing surfaces thereof to prolong life of the valve assembly. The valve assembly includes a sealing piston (201b) and a flange portion (201a) that define a passage therethrough. The sealing piston is movable toward and away from the flange portion to define a chamber (210). When the valve assembly is in an open position, a valve seal (205) attached to the sealing piston engages a surface of the flange portion. When the valve assembly is to be closed, the sealing piston is displaced away from the flange portion which disengages the valve seal from the surface of the flange and a gate (203) is disposed within the space defined between the sealing piston and the flange portion. The gate includes a gate seal which engages the surface of the flange portion when the gate is disposed within the chamber.
(FR)La présente invention concerne un ensemble clapet (200) disposé dans un environnement de vide qui est conçu pour protéger les surfaces d'étanchéité de celui-ci afin de prolonger la durée de vie de l'ensemble clapet. L'ensemble clapet comprend un piston d'étanchéité (201b) et une partie bride (201a) qui délimitent un passage à travers celui-ci. Le piston d'étanchéité peut se rapprocher et s'éloigner de la partie bride pour délimiter une chambre (210). Lorsque l'ensemble clapet se trouve dans une position ouverte, un joint (205) de clapet fixé au piston d'étanchéité met en prise une surface de la partie bride. Lorsque l'ensemble clapet doit être fermé, le piston d'étanchéité est déplacé loin de la partie bride qui sépare le joint de clapet de la surface de la bride et une porte (203) est disposée dans l'espace délimité entre le piston d'étanchéité et la partie bride. La porte comprend un joint de porte qui met en prise la surface de la partie bride lorsque la porte est disposée dans la chambre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)