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Pub. No.:    WO/2012/091162    International Application No.:    PCT/JP2011/080580
Publication Date: 05.07.2012 International Filing Date: 27.12.2011
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
SATO, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SATO, Shinji; (JP)
Agent: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-6620 (JP)
Priority Data:
61/427,292 27.12.2010 US
13/335,006 22.12.2011 US
Abstract: front page image
(EN)A liquid immersion member (3) comprises: a first liquid immersion member (31), which is disposed at least partly around an optical path (K), that forms a first immersion space (LSI) of a first liquid (LQ) at an emergent surface side (7) of an optical member (8) such that the optical path of exposure light (EL) between the optical member and a substrate (P) is filled with the first liquid; and a second liquid immersion member (32), which is disposed at the outer side of the first liquid immersion member, that forms a second immersion space (LS2) of a second liquid (LQ) partly around the first immersion space and adjacent to a first guide space (A2). A cleaning method comprises: supplying a cleaning liquid (LC) such that it contacts at least part of the first liquid immersion member; and recovering at least some of the cleaning liquid from the first liquid immersion member via an opening (S2) belonging to the second liquid immersion member.
(FR)L'élément d'immersion dans un liquide (3) selon l'invention comprend : un premier élément d'immersion dans un liquide (31) qui est disposé au moins partiellement autour d'un chemin optique (K) qui forme un premier espace d'immersion (LSI) d'un premier liquide (LQ) sur un côté de surface émergent (7) d'un élément optique (8) de sorte que le chemin optique de lumière d'exposition (EL) entre l'élément optique et un substrat (P) soit rempli du premier liquide ; et un second élément d'immersion dans un liquide (32) qui est disposé sur le côté extérieur du premier élément d'immersion dans un liquide, qui forme un second espace d'immersion (LS2) d'un second liquide (LQ) partiellement autour du premier espace d'immersion et adjacent à un premier espace de guide (A2). Le procédé de nettoyage selon l'invention consiste : à obtenir un liquide de nettoyage (LC) de sorte qu'il soit en contact au moins partiellement avec le premier élément d'immersion dans un liquide ; et à récupérer au moins une partie du liquide de nettoyage du premier élément d'immersion dans un liquide via une ouverture (S2) appartenant au second élément d'immersion dans un liquide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)