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1. (WO2012090699) PROCESS FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM SALT, AND PROCESS FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM HYDROXIDE USING SAME AS RAW MATERIAL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/090699    International Application No.:    PCT/JP2011/078801
Publication Date: 05.07.2012 International Filing Date: 13.12.2011
IPC:
C07C 209/84 (2006.01), B01J 49/00 (2006.01), C02F 1/42 (2006.01), C07C 211/63 (2006.01)
Applicants: Tokuyama Corporation [JP/JP]; 1-1, Mikage-cho, Shunan-shi, Yamaguchi 7458648 (JP) (For All Designated States Except US).
MURATA, Akiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UMEZU, Naoyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TONO, Seiji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAIRA, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MURATA, Akiko; (JP).
UMEZU, Naoyuki; (JP).
TONO, Seiji; (JP).
TAIRA, Hiroaki; (JP)
Agent: MAEDA, Hitoshi; MAEDA & SUZUKI, 2F, Tokyodo Jinboucho 3rd Bldg., 1-17, Kandajinboucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010051 (JP)
Priority Data:
2010-293216 28.12.2010 JP
Title (EN) PROCESS FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM SALT, AND PROCESS FOR PRODUCING TETRAALKYLAMMONIUM HYDROXIDE USING SAME AS RAW MATERIAL
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SEL DE TÉTRAALKYLAMMONIUM, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN HYDROXYDE DE TÉTRAALKYLAMMONIUM UTILISANT CELUI-CI COMME MATIÈRE PREMIÈRE
(JA) テトラアルキルアンモニウム塩の製造方法、及びそれを原料とした水酸化テトラアルキルアンモニウムの製造方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem] In a case where tetraalkylammonium (TAA) ions are recovered from waste liquor from development or the like using a cation-exchange resin in a conventional manner, the obtained TAA salt is contaminated with metal ions. Therefore, attempts to produce TAA hydroxide using the TAA salt as raw material result in products which are significantly contaminated with metal impurities. [Solution] A TAA salt solution with a low metal ion concentration can be obtained by a process which comprises bringing a solution that contains both metal ions and TAA ions, such as a waste liquor from the development of a photoresist, into contact with a cation-exchange resin to make the TAA ions adsorbed on the cation-exchange resin, and then passing an acid through the resulting cation-exchange resin to recover a TAA salt, and in which the recover is stopped before the pH of the obtained TAA salt solution lowers to a prescribed level or lower and/or before the change in the electric conductivity thereof reaches a prescribed margin or more. Further, a high-purity TAAH solution can be obtained either by bringing the TAA salt thus obtained into contact with an anion-exchange resin which has previously been converted to the OH form or by subjecting the TAA salt thus obtained to electrolysis.
(FR)Dans un cas où des ions tétraalkylammonium (TAA) sont récupérés d'une liqueur résiduaire provenant d'un développement ou équivalent par le biais d'une résine échangeuse de cations de manière conventionnelle, le sel de TAA obtenu est contaminé par des ions métalliques. De ce fait, les tentatives de production d'hydroxyde de TAA utilisant le sel de TAA comme matière première résultent en des produits qui sont contaminés de manière significative par des impuretés métalliques. La présente invention concerne par conséquent un procédé d'obtention d'une solution saline de TAA à faible teneur en ions métalliques. Ledit procédé comprend les étapes consistant à mettre en contact une solution contenant à la fois des ions métalliques et des ions de TAA, telle qu'une liqueur résiduaire provenant du développement d'une résine photosensible, avec une résine échangeuse de cations afin que celle-ci adsorbe les ions de TAA, et à faire passer ensuite un acide à travers la résine échangeuse de cations obtenue afin de récupérer un sel de TAA, et à arrêter cette récupération avant que le pH de la solution saline de TAA obtenue atteigne une valeur inférieure ou égale à un pH prédéfini et/ou avant que la variation de la conductivité électrique de celle-ci n'atteigne une valeur supérieure ou égale à une marge prédéfinie. Une solution de TAAH de pureté élevée peut de plus être obtenue soit en mettant en contact le sel de TAA ainsi obtenu avec une résine échangeuse d'anions qui a été préalablement convertie en la forme OH, soit en soumettant le sel de TAA ainsi obtenu à une électrolyse.
(JA)【課題】 陽イオン交換樹脂を用いて現像廃液等からテトラアルキルアンモニウム(TAA)イオンを回収する際に、得られたTAA塩に金属イオンが混入するため、これを原料としてTAA水酸化物を得ようとしても、金属不純物が多いものしか得られない。 【解決手段】 フォトレジスト現像廃液等の金属イオンとTAAイオンとを含む溶液を、陽イオン交換樹脂とを接触させてTAAイオンを吸着させ、次いで該陽イオン交換樹脂に酸を通液してTAA塩を回収する際に、得られるTAA塩溶液のpHが規定値以下になる前および/または電気伝導度が規定幅以上変化する前に回収を停止することで、金属イオン濃度が低いTAA塩溶液が得られる。さらに、本発明は、こうして得られたTAA塩をあらかじめOH型にしておいた陰イオン交換樹脂に接触させるか又は、電気分解を行うことによって純度の高いTAAH溶液を得ることが出来る。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)