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1. (WO2012089387) MAGNETICALLY DRIVABLE MICROMIRROR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/089387    International Application No.:    PCT/EP2011/069698
Publication Date: 05.07.2012 International Filing Date: 09.11.2011
IPC:
G02B 26/08 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
PINTER, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEBER, Heribert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FISCHER, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KRUEGER, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUCHOW, Joerg [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRIESE, Christoph [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PINTER, Stefan; (DE).
WEBER, Heribert; (DE).
FISCHER, Frank; (DE).
KRUEGER, Michael; (DE).
MUCHOW, Joerg; (DE).
FRIESE, Christoph; (DE)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2010 064 218.5 27.12.2010 DE
Title (DE) MAGNETISCH ANTREIBBARER MIKROSPIEGEL
(EN) MAGNETICALLY DRIVABLE MICROMIRROR
(FR) MICROMIROIR POUVANT ÊTRE ENTRAÎNÉ MAGNÉTIQUEMENT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen magnetisch antreibbaren Mikrospiegel, mit einem äusseren Rahmen (205), einem Spulenkörper (202) und Torsionsfedern (203), welche in einer ersten Ebene (200) angeordnet sind, wobei die Torsionsfedern (203) eine Drehachse aufweisen, wobei der Spulenkörper (202) mittels der Torsionsfedern (203) drehbeweglich um die Drehachse mit dem äusseren Rahmen (205) verbunden ist, mit einem Spiegelelement (305) welches in einer zweiten Ebene parallel zur ersten Ebene angeordnet ist, wobei das Spiegelelement (305) mittels einer Zwischenschicht (250) mit dem Spulenkörper (202) verbunden ist. Die Erfindung betrifft auch einen 2D Scanner mit einem ersten magnetisch antreibbaren Mikrospiegel und einem zweiten antreibbaren Spiegel und ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegels.
(EN)The invention relates to a magnetically drivable micromirror, comprising an outer frame (205), a coil former (202) and torsion springs (203), which are arranged in a first plane (200), wherein the torsion springs (203) have an axis of rotation, wherein the coil former (202) is connected to the outer frame (205) in a manner allowing rotary movement about the axis of rotation by means of the torsion springs (203), comprising a mirror element (305), which is arranged in a second plane parallel to the first plane, wherein the mirror element (305) is connected to the coil former (202) by means of an intermediate layer (250). The invention also relates to a 2D scanner comprising a first magnetically drivable micromirror and a second drivable mirror, and to a method for producing a micromirror.
(FR)L'invention concerne un micromiroir pouvant être entraîné magnétiquement, comprenant un cadre extérieur (205), un corps de bobine (202) et des ressorts de torsion (203), lesquels sont disposés dans un premier plan (200). Dans ce cadre, les ressorts de torsion (203) comportent un axe de rotation. Les corps de bobine (202) sont reliés au cadre extérieur (205) au moyen des ressorts de torsion (203) de manière mobile en rotation autour de l'axe de rotation. Ledit micromiroir comprend également un élément miroir (305), qui est disposé dans un deuxième plan de manière parallèle par rapport au premier plan et qui est relié au corps de bobine (202) au moyen d'une couche intermédiaire (250). L'invention concerne également un scanner 2D comportant un premier micromiroir pouvant être entraîné magnétiquement et un deuxième miroir pouvant être entraîné, ainsi qu'un procédé pour la fabrication d'un micromiroir.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)