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1. WO2012070135 - PATTERN INSPECTION APPARATUS AND PATTERN INSPECTION METHOD

Publication Number WO/2012/070135
Publication Date 31.05.2012
International Application No. PCT/JP2010/071034
International Filing Date 25.11.2010
IPC
G06T 1/00 2006.01
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
1General purpose image data processing
G06T 7/00 2006.01
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
CPC
G06T 2207/30144
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30144Printing quality
G06T 7/001
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
0002Inspection of images, e.g. flaw detection
0004Industrial image inspection
001using an image reference approach
G06T 7/74
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
70Determining position or orientation of objects or cameras
73using feature-based methods
74involving reference images or patches
Applicants
  • 株式会社ニレコ NIRECO CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 黒田 毅 KURODA, Tsuyoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • 黒田 毅 KURODA, Tsuyoshi
Agents
  • 天野 広 AMANO, Hiroshi
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) PATTERN INSPECTION APPARATUS AND PATTERN INSPECTION METHOD
(FR) APPAREIL D'INSPECTION DE MOTIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE MOTIF
(JA) パターン検査装置及びパターン検査方法
Abstract
(EN)
Provided is a pattern inspection method, wherein, when executing an inspecting of whether each of the patterns on measurement objects, which are conveyed continuously in a first direction and onto which the same pattern is patterned, is pass or fail, a search for an angle correction image that has the pattern thereof deviated for an angle equivalent to the amount of angle deviation of the pattern to be inspected is executed within a storage apparatus, which has stored therein a plurality of angle correction images that have the angles of the patterns thereof deviated at predetermined angles with respect to a direction towards which the angle correction images are supposed to be oriented, and the angle correction image that was found as a result of the search is compared to images of each of the patterns that have had position deviation thereof corrected.
(FR)
L'invention porte sur un procédé d'inspection de motif dans lequel, lors de l'exécution d'une inspection pour déterminer si chacun des motifs sur des objets de mesure, qui sont transportés d'une manière continue dans une première direction et sur lesquels le même motif est formé, est ou non correct, une recherche d'une image de correction d'angle dont le motif est écarté pour un angle équivalent à la quantité d'écart angulaire du motif à inspecter est exécutée dans un appareil de stockage, dans lequel sont stockées une pluralité d'images de correction d'angle dont les angles des motifs sont écartés à des angles prédéterminés par rapport à une direction dans laquelle les images de correction d'angle sont supposées être orientées, et l'image de correction d'angle qui a été trouvée suite à la recherche est comparée à des images de chacun des motifs dont l'écart de position a été corrigé.
(JA)
 一の方向に連続的に搬送され、同一のパターンが施されている測定対象物の各パターンの良否を検査する際に、各パターンが本来向くべき方向に対して予め定められた角度だけずれている複数の角度補正用画像を格納する記憶装置から、各パターンの角度ずれ量に等しい角度だけパターンがずれている角度補正用画像を検索し、検索された角度補正用画像を、位置ずれが補正された各パターンの画像と比較する。
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