WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012054630) FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH DOOR DEFLECTION MINIMIZATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/054630    International Application No.:    PCT/US2011/056921
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 19.10.2011
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, MA 01821 (US) (For All Designated States Except US).
FULLER, Matthew, A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FULLER, Matthew, A.; (US)
Agent: CHRISTENSEN, Douglas, J.; Patterson Thuente Christensen Pedersen, P.A. 4800 IDS Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US)
Priority Data:
61/394,770 20.10.2010 US
Title (EN) FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH DOOR DEFLECTION MINIMIZATION
(FR) RÉCIPIENT POUR PLAQUETTES POURVU D'UNE OUVERTURE FRONTALE ET PRÉSENTANT UNE MINIMISATION DE LA DÉFORMATION DES PORTES
Abstract: front page image
(EN)A front opening wafer container suitable for 450 mm diameter wafers. The front door has a pair of latch mechanism externally operable on the sides of the door, each latching mechanism having a pair of latch tips extendable from top and bottom peripheries of the door into receivers in the door frame of the front opening of the container portion. The door contains wafer cushions that support horizontally stacked wafers. The cushions have vertically extending support strip regions with arcuate wafer engagement portions therebetween. The arcuate wafer engagement portion is positioned in a vertically extending central recess on the inside surface of the door. The wafer cushion is secured to the inside of the door at the pair of vertically extending support strip portions at a pair of vertically extending loading junctures. The latching tips of each latching mechanism is in a vertical alignment with the vertically extending loading junctures.
(FR)La présente invention se rapporte à un contenant pour plaquettes pourvu d'une ouverture frontale qui convient pour des plaquettes ayant un diamètre de 450 mm. La porte frontale présente une paire de mécanismes de verrouillage agencés extérieurement sur les côtés de la porte, chaque mécanisme de verrouillage comprenant une paire de pointes de verrouillage qui peuvent s'étendre depuis les périphéries supérieure et inférieure de la porte dans des réceptacles dans le cadre de porte de l'ouverture avant de la partie récipient. La porte comporte des éléments de calage de plaquette qui supportent des plaquettes empilées horizontalement. Les éléments de calage présentent des régions de bande de support s'étendant verticalement qui ont des parties de saisie de plaquette en forme d'arc disposées entre ces dernières. La partie de saisie de plaquette en forme d'arc est positionnée dans un évidement central s'étendant verticalement sur la surface intérieure de la porte. L'élément de calage de plaquette est fixé à l'intérieur de la porte au niveau de la paire de parties de bande de support s'étendant verticalement au niveau d'une paire de jointures de chargement s'étendant verticalement. Les pointes de verrouillage de chaque mécanisme de verrouillage se trouvent en alignement vertical avec les jointures de chargement s'étendant verticalement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)