WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012054627) FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH WAFER CUSHION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/054627    International Application No.:    PCT/US2011/056917
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 19.10.2011
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/38 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01)
Applicants: ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, MA 01821 (US) (For All Designated States Except US).
FULLER, Matthew, A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FULLER, Matthew, A.; (US)
Agent: CHRISTENSEN, Douglas, J.; Patterson Thuente Christensen Pedersen, P.A. 4800 IDS Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100 (US)
Priority Data:
61/394,633 19.10.2010 US
Title (EN) FRONT OPENING WAFER CONTAINER WITH WAFER CUSHION
(FR) BOÎTIER POUR PLAQUETTE À OUVERTURE FRONTALE COMPRENANT UN COUSSINET DE PLAQUETTE
Abstract: front page image
(EN)A front opening wafer container suitable for 450 mm wafers utilizes a wafer cushion on the front door with varying inclinations on the inside surface of a lower leg of V-shaped wafer cushion engagement portions on the door. Such provides enhanced performance. More specifically, in an embodiment of the invention, a front opening wafer container has, in cross section, horizontal V-shaped groove with the inside surface of the lower leg of the V having with at least two surface portions with different inclinations from horizontal. The surface portion adjacent the apex, where the edge of the wafer seats, having a lesser inclination from horizontal than a surface portion more distal from apex.
(FR)La présente invention concerne un boîtier pour plaquette à ouverture frontale convenant à des plaquettes de 450 mm, qui utilise un coussinet de plaquette sur la porte avant avec des inclinaisons variables sur la surface intérieure d'une jambe inférieure de parties de mise en prise de coussinet de plaquette en forme de V sur la porte, ce qui permet ainsi d'améliorer les performances. Plus spécifiquement, dans un mode de réalisation de l'invention, un boîtier pour plaquette à ouverture frontale comporte, tel que vu en coupe transversale, une rainure horizontale en forme de V, la surface intérieure de la jambe inférieure du V comportant au moins deux parties de surface ayant des inclinaisons différentes par rapport à l'horizontale. La partie de surface adjacente au sommet, où repose le bord de la plaquette, présente une inclinaison moindre par rapport à l'horizontale qu'une partie de surface plus distale par rapport au sommet.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)