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1. (WO2012054390) FAULT TOLERANT ION SOURCE POWER SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/054390    International Application No.:    PCT/US2011/056546
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 17.10.2011
IPC:
H01J 37/08 (2006.01)
Applicants: VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Terminal Drive Plainview, New York 11803 (US) (For All Designated States Except US).
HANSEN, Dennis [US/US]; (US) (For US Only).
DEAKINS, James [US/US]; (US) (For US Only).
CAMUS, Curtis [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HANSEN, Dennis; (US).
DEAKINS, James; (US).
CAMUS, Curtis; (US)
Agent: DRENNAN, Eric; HolzerIPLaw, PC 5994 S. Holly St. #300 Greenwood Village, CO 80111 (US)
Priority Data:
12/906,756 18.10.2010 US
Title (EN) FAULT TOLERANT ION SOURCE POWER SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIMENTATION DE SOURCE D'IONS À TOLÉRANCE DE PANNE
Abstract: front page image
(EN)The presently disclosed technology provides a responsive ion beam source power supply system (200, 300, 400) capable of handling fault events without relying on conventional protection circuitry (e.g., fuses and breakers) so that physical power supply hardware intervention by a user is minimized for typical fault conditions and the ion beam source power supply system (200, 300, 400) may recover automatically after experiencing a fault condition. The presently disclosed technology further discloses an ion beam source power supply system (200, 300, 400) capable of detecting and diagnosing fault states, autonomously implementing command decisions to preserve or protect the function of other ion source modules or sub-systems, and/or mitigating or recovering from the disruptive fault event and returning the ion beam source system (100) to desired user settings.
(FR)La technologie décrite dans la présente invention porte sur un système d'alimentation électrique de source de faisceaux d'ions réactifs (200, 300, 400) qui peut gérer des événements de panne sans se fier à une circuiterie de protection classique (par exemple des fusibles et des disjoncteurs), de sorte qu'une intervention sur le matériel d'alimentation électrique physique par un utilisateur soit réduite à un minimum pour des conditions de panne typiques et que le système d'alimentation électrique de source de faisceaux d'ions (200, 300, 400) peut effectuer une reprise automatique après avoir subi une condition de panne. La technologie décrite dans la présente invention porte en outre sur un système d'alimentation électrique de source de faisceaux d'ions (200, 300, 400) qui peut détecter et diagnostiquer des états de panne, mettre en œuvre, d'une manière autonome, des décisions de commande pour préserver ou protéger la fonction d'autres modules ou sous-systèmes de source d'ions, et/ou limiter un événement de panne disruptive ou effectuer une reprise à partir de celui-ci et faire revenir le système de source de faisceaux d'ions (100) aux réglages d'utilisateur voulus.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)