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1. (WO2012054306) PULSE MODE CAPABILITY FOR OPERATION OF AN RF/VHF IMPEDANCE MATCHING NETWORK WITH 4 QUADRANT, VRMS/IRMS RESPONDING DETECTOR CIRCUITRY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/054306    International Application No.:    PCT/US2011/056198
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 13.10.2011
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01)
Applicants: COMET TECHNOLOGIES USA, INC [US/US]; 2730 Bearing Drive San Jose, California 95131 (US) (For All Designated States Except US).
BOSTON, Gerald E. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BOSTON, Gerald E.; (US)
Agent: NOLTE, N. Alexander; Edmonds & Nolte, PC 10411 Westheimer Road Suite 201 Houston, Texas 77042 (US)
Priority Data:
12/908,738 20.10.2010 US
Title (EN) PULSE MODE CAPABILITY FOR OPERATION OF AN RF/VHF IMPEDANCE MATCHING NETWORK WITH 4 QUADRANT, VRMS/IRMS RESPONDING DETECTOR CIRCUITRY
(FR) CAPACITÉ D'ACTION PULSÉE POUR LE FONCTIONNEMENT D'UN RÉSEAU D'ADAPTATION D'IMPÉDANCES RF/VHF À 4 QUADRANTS, CIRCUITS DE DÉTECTION EN RÉPONSE À VRMS/IRMS
Abstract: front page image
(EN)A physical vapor deposition system may include an RF generator configured to supply a pulsing AC process signal to a target in a physical vapor deposition chamber via the RF matching network. A detector circuit may be coupled to the RF generator and configured to sense the pulsing AC process signal and to produce a corresponding pulsing AC voltage magnitude signal and pulsing AC current magnitude signal. An envelope circuit may be electrically coupled to the detector circuit and configured to receive the pulsing AC voltage and current magnitude signals and to produce a DC voltage envelope signal and a DC current envelope signal. A controller may be electrically coupled to the envelope circuit and the RF matching network and configured to receive the DC voltage and current envelope signals and to vary an impedance of the RF matching network in response to the DC voltage and current envelope signals.
(FR)La présente invention concerne un système de dépôt physique en phase vapeur pouvant comprendre un générateur RF configuré pour fournir un signal de traitement CA d'impulsion à une cible dans une chambre de dépôt physique en phase vapeur par le biais du réseau d'adaptation RF. Un circuit de détection peut être couplé au générateur RF et configuré pour détecter le signal de traitement CA d'impulsion et pour produire un signal de magnitude de tension alternative d'impulsion et un signal de magnitude de courant alternatif d'impulsion correspondants. Un circuit d'enveloppe peut être couplé électriquement au circuit de détection et configuré pour recevoir les signaux de magnitude de tension alternative et de courant alternatif d'impulsion et pour produire un signal d'enveloppe de tension continue et un signal d'enveloppe de courant continu. Un dispositif de commande peut être couplé électriquement au circuit d'enveloppe et au réseau d'adaptation RF et configuré pour recevoir les signaux d'enveloppe de tension continue et de courant continu et pour modifier une impédance du réseau d'adaptation RF en réponse aux signaux d'enveloppe de tension continue et de courant continu.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)