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1. (WO2012054201) WAFER TESTING SYSTEMS AND ASSOCIATED METHODS OF USE AND MANUFACTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/054201    International Application No.:    PCT/US2011/053775
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 28.09.2011
IPC:
G01R 31/20 (2006.01)
Applicants: ADVANCED INQUIRY SYSTEMS, INC. [US/US]; 20520 Northwest Evergreen Parkway Suite 100 Hillsboro, OR 97124 (US) (For All Designated States Except US).
DURBIN, Aaron [US/US]; (US) (For US Only).
KEITH, David [US/US]; (US) (For US Only).
JOHNSON, Morgan, T. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DURBIN, Aaron; (US).
KEITH, David; (US).
JOHNSON, Morgan, T.; (US)
Agent: WECHKIN, John, M.; Perkins Coie LLP P.O. Box 1247 Seattle, WA 98111-1247 (US)
Priority Data:
61/404,234 28.09.2010 US
Title (EN) WAFER TESTING SYSTEMS AND ASSOCIATED METHODS OF USE AND MANUFACTURE
(FR) SYSTÈMES DE TEST DE PLAQUETTES ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS POUR LEUR UTILISATION ET LEUR FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)Wafer testing is disclosed. A wafer testing system includes an assembly for releaseably attaching a wafer to a wafer translator and the wafer translator to an interposer by means of separately operable vacuums, or pressure differentials. The assembly includes a wafer translator support ring coupled to the wafer translator, wherein a first flexible material extends from the wafer translator support ring so as to enclose the space between the wafer translator and the interposer so that the space may be evacuated by a first vacuum through one or more first evacuation paths. The assembly can further include a wafer support ring coupled to the wafer and the chuck, wherein a second flexible material extends from wafer support ring so as to enclose the space between the wafer and the wafer translator so that the space may be evacuated by a second vacuum through one or more second evacuation pathways.
(FR)L'invention concerne le test de plaquettes. Un système de test de plaquette comprend un ensemble destiné à fixer de manière amovible une plaquette à un translateur de plaquettes et le translateur de plaquettes à un dispositif d'interposition au moyen de vides ou de différentiels de pression pouvant être commandés séparément. L'ensemble comprend un anneau de support du translateur de plaquettes relié au translateur de plaquettes, un premier matériau souple s'étendant depuis l'anneau de support du translateur de plaquettes de manière à fermer l'espace situé entre le translateur de plaquettes et le dispositif d'interposition de manière à ce que cet espace puisse être mis sous vide par un premier vide par l'intermédiaire d'un ou plusieurs trajets de mise sous vide. L'ensemble peut en outre comprendre un anneau de support de plaquettes relié à la plaquette et au mandrin, un second matériau souple s'étendant depuis l'anneau de support de plaquettes de manière à fermer l'espace situé entre la plaquette et le translateur de plaquettes afin que cet espace puisse être mis sous vide par un second vide par l'intermédiaire d'un ou plusieurs seconds trajets de mise sous vide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)